Перейти к содержанию
Koliadynskyy

ВУП-5М....Что это и с чем его едят

Рекомендуемые сообщения

Здравствуйте уважаемые участники форума,

 

В университете завалялся упомянутый раньше вакуумный универсальный пост ВУП-5М. Как работать с ним - толком никто не знает, та и с дукоментации осталось только вторая книга с собранием технических схем.

c1761f0094eft.jpg

 

В соответствии с "неописуемым" желанием извлечь толк для учебы - приступил к осваиванию этого чуда. Нашел урезанную версию инструкции по эксплуатации (такое чувство что этот ВУП реально секретна разработка, про него написано много но толку с того мало :wacko: ) и методом научного тыка приступил к работе.

 

В итоге за два года угробленного времени добился незначительных результатов, но все-равно не доволен, особенно работой вакуумной системы. Следующая имеет схему, указанную ниже:

722db6a51548t.jpg

V1, V5, V6, V7, V8 - электромагнитные клапана; V4 - высоковакуумный затвор; P2, P1, P4 - преобразователи ПМТ-2; P3 - преобразователь ПМИ-2; ND - диффузионный насос НВДМ-160; NL - форвакуумный насос 2НВР-5ДМ; BF - форвакуумный баллон; CN - рабочая камера;

 

Как-бы выкачивание рабочей камеры идет и достигает высокого вакуума, индикатор "ВВ" засвечивается. Но вот процесс препарирования не очень тешит, нету стабильного вакуума при напуске аргона. Систему напуска стабилизировал - газ поступает равномерно. Руководство по эксплуатации диф. насоса НВДР-160 показывает что при достижении давления на входе насоса ниже 10-3 мм.рт.ст. скорость выкачки должна стабилизироваться. То есть датчик P2 (Д2) на схеме должен показать на блоке управления ВУП-5М значение 900 и больше. Вот и хотел поинтересоваться так ли это должно быть или нужно будет все время играться регулятором для напуска, что бы держать давления в каком то диапазоне.

 

Вот вобщем и вопросс с очень долгим прологом ....... :hi:

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ВУП5М - это с магнетроном, что-ли?

1.Насос там стоит 2НВР5. 900 - датчик P2 будет показывать в очень редких случаях, если

слишком хороший этот насос НВР5. Нормальное показание датчика P2 при высоком вакууме в камере-

500-700. ( это 5-7 мв по ВИТу)

2. Напуск аргона нормальный Вы не получите от механического натекателя, который в этом ВУПе..Вам что нужно стабилизировать, поток газа или его давление?

Если поток, то нужен РРГ натекатель, если хочется новый, то в Зеленограде можно приобрести на нужный поток.

Если давление, то сложнее. Нужна обратная связь по давлению, выдаёт ли вакууметр ВУПа с ПМИ-2 сигнал обратной связи 0-10 вольт. Если не выдает, то нужно влезать в схему и вытащить оттуда этот сигнал. Натекатель с блоком управления можно взять от ННВ, если зарезать производительность..

3. И ещё один косяк. Лампа ПМИ-2 в ВУПе - находится под затвором, а не в камере.

И соответственно давление будет стабилизироваться тоже под затвором.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Спасибо за ответ.

 

Да ВУП-5М - з магнетронной приставкой для осаждения тонких пленок.

 

Несколько раз пытался разными способами выводить эту установку на рабочий режим и получал значения 900 на Д2. Как это обьяснить - не знаю, хотя подозреваю, что это могло случится из-за отсутствия достаточного предыдущего вакуума в рабочей камере и неправильной работе диф. насоса или же обычный глюк аналитического блока установки.

 

Я уже модернизировал блок подачи рабочего газа и щас думаю над способом достижения стабильной вакуумной среды в рабочей камере.

 

Хотя в характеристиках ВУП-5М пишет что он может достигать 10-4 , но при работе с ним сколько не качал - свыше значения ~970 на Д1 (Р1) никогда не достигал. Или то камера уже не герметическая или то сказалась полная разгерметизация системы при профилактических работах. Потому ПМИ-2 у меня вообще стоит как аксессуар. Использовать этот преобразователь ниже рабочего диапазона вредно да и Вы действительно правы, ионизационные преобразователи ставят не на камеру, а под высоковакуумным затвором.

 

Вот и получается, что если не удастся установить постоянную скорость откачки - придется брать управления клапаном V8 на основе значений Д1 (Р1) в свои руки.

Изменено пользователем Koliadynskyy

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Ну с газами пока вообще не встревать надо откачать на более высокий вакуум те см клапана правильно работають типа по классической схеме откачки фор откачку проверить потома даффузионника типа нагрев и последовательность откр закр системы

На микроскопист Форум вроде типа 60 м было описалово

http://www.microscopist.ru/forum/viewtopic.php?t=757

Изменено пользователем ОПТОН

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Спасибо за ответ и линк.

 

Линк я перед этим видел.......вытащил оттуда всю инфу, а потом еще и нашел инструкцию по эксплуатации в обработке, то есть в нормальном пдф документе и отредактировано для повышения читабельности, правда выбросили там то что вообще не читалось.

 

У меня ВУП в автоматическом режими откачки выходит на режим, та и в ручном уже научился выводить. Основная моя проблема в стабилизации самого процесса распыления.

Когда горит "ВВ" индикатор и все готово в автоматическом режиме клапана V8 монотонно открывается и закрывается, при этом диф. насос выкачивает роб. объем до ~970, как я указывал выше. Напуская аргон до значения остаточного давления на Д1 ~780 и подаю 400В на магнетрон - образуется разряд и вот тут понеслась. После появления тлеющего разряда начинает резко расти давления и срабатывает блокировка. Начинаю снижать размер напуска - давления снижается и плазма затихает. Поток аргона при этом ламинарный и четко дозирован, но поймать равновесия - не могу. Привязываю все это к нестабильной скорости выкачки рабочего объема, ибо стабильно НВДР-160 начинает выкачивать, как я писал выше только при давлении ниже 10-3 мм.рт.ст.

 

Поэтому и поднял обсуждение на форуме, может что не так делаю? Или это такое "хитрое" оборудование и реально нада взять управление исполнительными узлами в свои руки? :aggressive:

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Ну енто надо кто с вупом играеться у мну на старой уст при магнетронном испарении типа было дроселирование те дифф (был (КРИО) открыт прим на 30 прц могеть из за крио шоб не замерз

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Добрый день.

несколько лет проработал на вупе-5, правда сильно переделанным.

соответсвенно практически все измерители давления - от внешних вакууметров.

 

из вариантов, который я вижу

1) проверить насколько работает ваккуумная система (без напуска)

причем лучше в ручном режиме.

 

я не очень представляю, в чем меряется у вас давление (у нас стоит миливолтрметр до 10 мВ)

 

соответсенно нормальный режим:

при вклбюченном форнасосе, без диф насоса - P2, P1, P4 значения от 1,5 до 6-7 мВ

при включенном дифнасосе и закрытом шибере P2, P1 - 1,5-6 мВ, P4 -10 мВ при этом можно включить ПМИ, но перед открыванием шибера ее надо выключить.

при включеном дифнасосе и открытом шибере P2- 1,5-6 мВ, P4, P1 -10 мВ

 

от времени (или от работы) "логика" иногда летит.

я никогда не работал в автоматическом режиме, но на мой взгляд V8 не должен закрываться самостоятельно

 

 

то, что при разряде начинает скакать давление - это логично - начинается обезгаживание. вы не пробовали предварительно прогревать внутренности камеры?

Изменено пользователем Samium

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Интересует как лучше и чем лучше отчищать (отмывать) смотровое стекло после продолжительных напылений металлов в камере ВУП-5М? Поделитесь опытом.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Интересует как лучше и чем лучше отчищать (отмывать) смотровое стекло после продолжительных напылений металлов в камере ВУП-5М? Поделитесь опытом.

Проще закрывать куском стекла , которое потом менять на чистое . Есть ещё варианты с поворотным сегментом как у Mihelя .

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

то, что при разряде начинает скакать давление - это логично - начинается обезгаживание. вы не пробовали предварительно прогревать внутренности камеры?

Это может быть и не скачки давления, а наводка на лампы при пробоях.

Поставьте галогенки в цепь питания очистки, как балласт. Они сгладят броски тока, а как перестали моргать, очистка почти закончилась.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Как устранить следующую неисправность ВУПа-5: при включении установки загораются индикаторы "Перегрузка", Нет воды" ,"Обрыв", "Ошибка". Щелкает ВВ клапан.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Совет из практики - ТУПО поменять все электролиты на платах и обязательно проверить ВСЕ питания осцилографом (на платах).

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Как устранить следующую неисправность ВУПа-5: при включении установки загораются индикаторы "Перегрузка", Нет воды" ,"Обрыв", "Ошибка". Щелкает ВВ клапан.

 

Сколько лет "девушке"? Для чего предполагаете пользовать?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Как устранить следующую неисправность ВУПа-5: при включении установки загораются индикаторы "Перегрузка", Нет воды" ,"Обрыв", "Ошибка". Щелкает ВВ клапан.

Берётся схема ВУП-5 ( она сделана на 555- серии) и тупо разглядывается.. По схеме определяются условия при которых

все эти индикаторы горят одновременно..

Скорее всего нет контакта в стойке где платы рядами. Справа под столом.

Сколько лет "девушке"? Для чего предполагаете пользовать?

Для виртуального этого самого не очень важно сколько лет девушке или дедушке.

Последний Сумской ВУП-5 был выпущен в 1992 году..

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Начинать с питания однозначно . А схемы так начерчены , что мозг поломать можно .

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Спасибо за советы. ВУП-5 1989 г. вып. Схему пульта управления рассмотрели и проверили источники 15В. Все ОК. Но причина не обнаружена. Тупо менять все электролиты лень и долго.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Тупо менять все электролиты лень и долго.

Если лень, то в вакуумной технике делать нечего.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

У Вас явные неполадки со схемой управления. Питается она от +5. Он там кстати помоему

не один. Проверять обязательно осцилографом. При пульсациях схема идет вразнос.

Вольтметром это не увидеть. Некоторые электролиты на платах формируют временнЫе интервалы, например форсирование срабатывания клапанов. Не ленитесь. У нас 2 таких

в работе, может каким советом и помогу. НО - я только электронщик.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Но причина не обнаружена.

"Перегрузка", Нет воды" ,"Обрыв", "Ошибка". Щелкает ВВ клапан.

Идиоты..В ЗИПЕ должне быть удлинитель для плат. Вставляешь удлинитель в корзину,

а плату в удлинитель. Вот она плата висит снаружи..Ищешь микросхему, которая выдаёт сигнал

"нет воды"..Есть такой сигнал...Смотришь на воду - вода есть на самом деле..Между водой, которая есть,

и сигналом "нет воды" есть цепочка микросхем, где этот сигнал теряется..

Если совсем непонятно по схеме..то фрагмент схемы загоняется в симулятор ( я загонял в ORCAD)

и всё просто...В конце концов в любом Урюпинске есть хотя бы один электронщик на город, который ремонтирует

стиральные машинки и телевизоры..

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

anmasc (13 February 2013 - 14:23) писал:

Интересует как лучше и чем лучше отчищать (отмывать) смотровое стекло после продолжительных напылений металлов в камере ВУП-5М? Поделитесь опытом.

Проще закрывать куском стекла , которое потом менять на чистое . Есть ещё варианты с поворотным сегментом как у Mihelя .

Спасибо. И все-таки, если уже есть запыленные стекла, то как их лучше довести до нормальной кондиции?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Спасибо. И все-таки, если уже есть запыленные стекла, то как их лучше довести до нормальной кондиции?

обычно смывается водой с моющим средством, только усилие предложить надо.

В крайнем случае войлок и паста ГОИ.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

обычно смывается водой с моющим средством, только усилие предложить надо.

В крайнем случае войлок и паста ГОИ.

Почему ГОИ в крайнем случае?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Да жалко хорошую вещь. Обычно хватает жесткой губки, моющего средства и некоих усилий при отмывании.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Интересует как лучше и чем лучше отчищать (отмывать) смотровое стекло после продолжительных напылений металлов в камере ВУП-5М?

При установке нового или очищенного стекла полезно смазывать его тонкой пленочкой вакуумного масла, послечего очистка сводится к протирке тряпкой с бензином.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

При установке нового или очищенного стекла полезно смазывать его тонкой пленочкой вакуумного масла, послечего очистка сводится к протирке тряпкой с бензином.

Особенно полезно в установках с безмаслянной системой откачки. С диффузионниками можно, но масло лучше типа "алкарен" или около.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.