Перейти к содержанию
draconn

Тепловой пробой тонких плёнок.

Рекомендуемые сообщения

При напылении различных металлических плёнок на диэлектрик могут возникать тепловые пробои по поверхности, в виде следов молний. Кто нибуть сталкивался с этим? Интересен магнетронный способ нанесения.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Может это просто механические разрывы из-за разных коэффициентов теплового расширения? Да и пленки металла иногда осаждаются в "напряженном" состоянии. Какая толщина покрытия? Фото - в студию :)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Ну это точно не из-за телового расширения и напряженности плёнок :) . Толщина около 10 нм. Сдесь и плёнки то сплошной нет ещё. Во время процесса видны всполохи по поверхности и то что потом получается на фотках. post-40181-087958100 1343036608_thumb.jpgpost-40181-055172800 1343036620_thumb.jpg Материалы могут быть разные. Общее то что все металлы.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Странно. А стол, на котором крепите пластмасски, он как? Изолирован от всего ? Или сидит "на корпусе" ? Может у вас даже какой потенциал на него прошивает? И как только пленка становится электропроводной, по ней начинает течь ток ( микроток) ? Магнетроном напыляли всяко-разно на пластмасски. Напимер, ради делать нечего, напыляли одноразовые стаканчики.... Никогда ничего подобного не наблюдалось....

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Источник у магнетрона какой ? Трансформаторная постоянка ?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Это больше похоже на электрический пробой, изоляцию стола проверяйте.

На магнетроне прострелов нет, случайно, в процессе работы?

Изменено пользователем Qlibinglazz

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Показанное на фото - скорее всего проявление внутренних напряжений в напыляемой пленке при недостаточной адгезии.

Электрический пробой более прямолинейный и след "лохматый". На диэлектрике пробой имеет вид воронок - пробой через диэлектрик.

 

Какой металл на что и как пылится?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Напыление на стекло. Диэлектрик, металл, диэлектрик. Изоляция в норме. Пылятся с использованием переменки (кГц) так и постоянки. Подобную картинку видел на более толстых плёнках. В микроэлектроники тоже вроде говорят бывает. Обзывают там тепловым пробоем, только вроде там плёнки толще. Процесс проявления довольно случаен. То есть может быть, а может и не быть. И виден уже когда металлическую плёнку запыляют. Но уж очень плёнки тонкие........ возможно статика конечно....но опять но.... почему случайный характер..... что может влиять..... толщина плёнки.... материалы (хотя на разных наблюдается)..... параметры разряда.....или всё вместе.... что какжется наиболее вероятным..... вернее какая то критическая их комбинация....

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

По-моему, это похоже на след катодного пятна без магнитного поля. На изолированных проводящих поверхностях могут возникать униполярные вакуумные дуги. Электроны из плазмы заряжают такую поверхность до минус 15- 20 В относительно плазмы. Дуга возникает, "сбрасывает" этот заряд, анодом является плазма.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Для таких тонких плёнок источник питания магнетрона надо поаккуратнее делать.

А так же стекло качественно мыть и ионно чистить.

Это электрические пробои.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Вообще из обычного магнетрона летят нейтральные атомы.

Там где кончается светящаяся зона, там виртуальный анод

(если конструкцией не предусмотерн реальный анод) а дальше

нету никакой плазмы..Всё равно, что резистивник.

такие пробои возможны -

1. если подложку поместили прямо в бублик. (2-3 см от катода)

2. если запустили магнетрон в не обычном режиме, например

расходящийся конус вместо бублика.

3. магнетрон не обычный ( например нескомпенсированный)

4. неоднородный катод магнетрона плюс неудачная схема дугогашения

плюс подложка близко от магнетрона.

и т.д.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Ни кто и не спорит что данные случаии возможны :) .......но в данном случае и в случае описанном в книге напыление идёт на материалы обладающие большой способностью накапливать заряд при движении.... что и наблюдается.......металическая плёнка способствует перераспределению заряда..всегда найдётся место откуда избыток заряда может утечь... как не изолируй транспорт.. создаётся падение потенциала по поверхности.... достаточно совсем небольшого, чтобы плёнка пробилась вследующей камере..как правило это диэлектрик напыляют..... мне кажется что всё таки такой механизм пробоев....

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Типа конденсатор напылился..Вначале диэлектрик, потом RC слой, с увеличением толщины просто коненсатор..Который при искрении магнетрона разряжается прямо в катодное пятно на магнетроне..Настойчиво настаиваю на этой версии :8P: ..

Может заряд регулярно снимать с этого конденсатора пучком ионов?

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Это электрический поверхностный пробой. Он связан с накоплением нескомпенсированного заряда на диэлектрическом покрытии, с последующим пробоем его по поверхности на заземленные элементы подложкодержателя.

Обычно, при наличии плазмы такого накопления заряда не происходит. Если плазма магнетрона (видимый светящийся конус) не касается подложки, то и пленки получаются не очень качественные (отсутствует ионная бомбардировка).

При реактивных процессах в кислороде значительное кол-во отрицательных ионов кислорода ускоряются от мишени к подложке, и энергия у них соответствует напряжению разряда. Соответственно и заряд на подложке может быть немалый. Разряжается она положительными ионами из плазмы.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

могут возникать тепловые пробои по поверхности

Мне всегда казалось... электрические пробойи возникали при напыление токопроводного покрытия на изоляторе и в связи с разностью потенциалов в разных точках изолятора возникала малюсенькая молния. Поэтому мы отключали потенциал подложки и типа из краскопульта закрашивали... правда метод КИБ. :)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А я в детстве пытался пылить титан в среде кислорода на ННВ.--пытался получить белые титановые белила

 

Сначала-вроде как,а потом пошел пробой пленки.

Кто ж тогда знал что пылить низя под потенциалом.

Все покрытие пробито...

Ко всему-еще и испаритель ННВ-перестал работать...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Такой эффект вызывает скопление заряда на поверхности тонкой металлической пленки на поверхности диэлектрика. Заряд вызывает поток электронов с магнетронного разряда.

Такое бывает если стекло проходит близко от разряда, магнетрон несбалансирован, отсутствует или неэффективный анод.

 

Самый простой способ

Берешь нихромовую проволоку от утюга. наматываешь ее на рамку и ставишь перед магнетроном. Рамку заземляешь. И вот оно твое счастье.

А по умному надо смотреть куда уходят электроны. Если магнетрон несбалансирован они летят прямо на подложку, на анод не попадают. Посмотри на разряд когда проходит стекло мимо магнетрона. Если увидишь пучок как из фонарика значит магнетрон надо переделывать

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Берешь нихромовую проволоку от утюга. наматываешь ее на рамку

и ставишь перед магнетроном. Рамку заземляешь.

И магнетрон гаснет.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Называется нейтрализатор. Магнетрон не гаснет. Но и эффекта не видел. Хотя, если честно, то и таких пробоев не видел.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Если поставишь на расстоянии 6 -7 см от мишени ничего не произойдет. Разряд на такое расстояние не вылазит. Завтра на работе если будет время сфоткаю один магнетрон с таким прибамбасом. Правда там он используется как дополнительный анод при реактивном распылении

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

В том то и дело... расстояние от катода до стекла больше 8см... пробой наблюдается, когда металические слои начинаются запылятся диэлектриком... видно как будто бы пороховая дорожка на стекле загорелась.. место возникновение этой дорожки произвольное.. может с одного края... может с другого.... может вообще пятнами где то в центре.... и по всей видимости это можно наблюдать только когда напыление идет на движущийся под магнетронами объект (стекло, плёнка, пластик......).. всё таки это скорее всего статика стекает.... получается разность потенциалов.... а плазма возможно просто проявляет (поджигает) это... и очень интерсно о влиянии кислорода на этот процесс.. но как без него..... оксиды нужны......

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Электронам некуда деваться. Вот они по тонкому слою металла и сливаются на землю.

 

НЕТ НОРМАЛЬНОГО АНОДА!!!

 

Я уже говорил что в этом случае когда стекло проходит будет виден факел из магнетрона. Поставь на карусель стекло - пропуск, стекло пропуск и посмотри на разряд. Когда стекло будет проходить будет появляться факел.

 

Выход какой - Надо сделать везде где можно чтоб была между разрядом и подложкой земля, которая не запыляется диэлектриком. Посптавь по бокам вне зоны полета распыленного потока но близко железяки. А сетка помогает 100 %

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

У нас когда оксиды долго пылили с DC источником питания процесс за процессом бывало так что вся камера покрывалась диэлектриком и в некоторые моменты процесса вся камера начинала светиться и по ней бегать пробои. Спасала только отчистка камеры.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Друзья, вакуумщики.

Я снова с Вами

Да , скорее всего, нет анода. С этим можно справиться, поставив дуальник ( дуальный магнетрон).

Ему анод не нужен. Но это не просто и не дешево.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Да , скорее всего, нет анода. С этим можно справиться, поставив дуальник ( дуальный магнетрон).

А зачем дуальник, нужны же металлические слои?

Вообще, неплохо бы хотя бы эскиз, а, лучше, фотографию обсуждаемой установки.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.