Перейти к публикации

Восстановлен мод "Модераторы тем" - просьба проверить.

Архивировано

Эта тема находится в архиве и закрыта для публикации сообщений.

Дугатрон

Цвет стенок камеры после напыления нитрида титана

Рекомендованные сообщения

Предлагаю увлекательную дискуссию на счёт у кого какого цвета стенки камеры после напыления нитрида титана. Этот вопрос тут неоднократно всплывал по разным причинам. Посему, думаю, завести отдельный топик. Ну и для затравки расскажу недавнюю историю. У нас на установке есть ручной клапан между форнасосом и всем остальным. Так вот за год этот клапан потихоньку от вибрации закрутился почти до конца(!). И до этого момента бочка каким-то чудом всё же откачивалась. Но в последней садке давление стало сильно прыгать (автоматический натекатель) и по всему было видно, что прокачка газа сильно снизилась. В следующей садке откачка камеры вообще не пошла. Ну стал разбираться и нашёл, понятно что.

Так вот, в последней садке после напыления камера была вся идеально жёлтая!

Устанив "недуг", к удивлению обнаружил, что стенки камеры после напыления опять стали с синевой.

Есть о чём подумать! Т.е. от скорости прокачки зависит степень ионизации азота (видимо) в первую очередь. И уже от этого зависит, как будут напыляться поверхности без ускоряющего потенциала. Ну что? - Прикольно?

Так как всё таки правильно напылять? При призакрытом затворе, или на полностью открытом?

 

Думаю это может быть неплохой темкой для студенческого диплома. А может и для диссера :-)

 

Рязанцев С.С.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Замечал что под разным углом смотреть ...разные цвета радуги " видишь "

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Т.е. от скорости прокачки зависит степень ионизации азота (видимо) в первую очередь. И уже от этого зависит, как будут напыляться поверхности без ускоряющего потенциала. Ну что? - Прикольно?

Дык..это уже было, про кислород в азоте.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Еще цвет стенок камеры зависит от давления при напылении .

Интересно кто напыляет в минус второй степени (мм рт ст)

или в минус четвертой степени (мм рт ст) ???

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

в минус четвертой греют, цвет - серый или серо-зелёный..

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Уважаемый Дугатрон, позвольте мне, предположить, что чем мощнее откачка, тем больше "прёт" атмосфера через существующие течи.

:rolleyes:

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Т.е. от скорости прокачки зависит степень ионизации азота (видимо) в первую очередь. И уже от этого зависит, как будут напыляться поверхности без ускоряющего потенциала.

Насчет ионизации азота сумления.

Без ускоряющего потенциала-больше 5 минут напыления ,покрытие облезет чешуйками самостоятельно,на декор проскочит ,практика однако на коммерческих установках.

А вот диплом аль диссер гореть будут синим пламенем,а могет и новый термин изобретут "пылить в холодную" (Всё новое-хорошо забытое старое).

Вот еще прикол из 20 века-при перемещение теплового потока по поверхности твердого тела ,есть прикол-скорость меньше,температура ниже;скорость выше,температура выше.Но при некоторых условиях :rolleyes: И это из Томского политехнического. :hi:

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Ионизацию азота можно повысить и за счет увеличения тока дуги ...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Ионизацию азота можно повысить и за счет увеличения тока дуги

Это гипотеза?

И зачем повышать оную или понижать. Только свими словами, pls

без ссылок на тексты.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Ионизацию азота можно повысить и за счет увеличения тока дуги

По теории повысишь,но подними ток дуги до 120 А и давление до 1*10-2 мм и посмотри на серые стенки и кирпичные изделия (по цвету)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Нет это реальность .... и в свое время тренировались на твердосплавных образах ... эксперементировали !

Увеличение ионизации азота наблюдали не вооруженными глазами при токах свыше 120 А (Ti)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

при токах свыше 120 А

Количество и размеры капли увеличили ,толщину нарастили быстрей,а микротвердость упала и зачем тогда повышенная ионизация азота нужна.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Ко всему сказанному Вами добавлю про температуру (!)при напылении тв.сплава при этом увеличивается до бела ...! Считаю что увеличивается диффузия при этом , об адгении молчу получается сплошной монолит ....

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Увеличение ионизации азота наблюдали не вооруженными глазами

при токах свыше 120 А (Ti)

Как это проявлялось, что изменилась именно ионизация именно азота.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Ух ты, сколько тут уже написали! Только вернулся домой и залез в инет. Ну, по порядку...

 

Дык..это уже было, про кислород в азоте.

 

(Говорил же, что в разных топиках тема всплывала). Так-с...задумался. Пойду курну...

Ну что, чем больше протекает газа, тем больше протекает и кислорода, содержащегося в виде примеси в азоте. Если учесть, что кислород более активный, то можно предположить, что О2 сразу реагирует, а большая часть азота улетает в "трубу". То есть мы действительно с увеличением прокачки повышаем процент TiO2 в покрытии.

Возьмём на заметку.

 

 

Еще цвет стенок камеры зависит от давления при напылении .

 

Ну, это к бабке не ходи :-)

 

 

чем мощнее откачка, тем больше "прёт" атмосфера через существующие течи.

 

 

Ой тут не соглашусь. Перепад давления в камере по отношению к атмосфере остаётся прежним. А значит существующие течи

остаются на прежнем уровне. И в этом случае, как раз увеличение скорости прокачки должно привести к уменьшению влияния примесей от течей в покрытии. Т.е. цвет камеры должен быть менее синим.

 

 

Насчет ионизации азота сумления.

 

Тут лучше коворить о степени ионизации. Судите сами - чем больше азот будет находиться в ионизирующей среде, тем большая часть азота продиссоциирует.

 

Ионизацию азота можно повысить и за счет увеличения тока дуги ...

 

Согласен. Чем больше энергии вкладываем - тем быстрее ионизируем всё вокруг :-)

 

 

По теории повысишь,но подними ток дуги до 120 А и давление до 1*10-2 мм и посмотри на серые стенки и кирпичные изделия (по цвету)

 

Это всё к этой теме. Тут разница в том, что стенки без потенциала, а детали с потенциалом. Но, давайте про детали пока разговоры отбросим. Топик о цвете стенок камеры. Про цвет деталей - в другие топики.

 

Возвращаясь к словам Мирса на счёт кислорода добавлю, что мы только что поменяли баллон с азотом. Цвет деталей резко улучшился на обеих установках. Конечно я не исключаю, что и в новом баллоне есть примесь кислорода. Но сейчас его явно меньше.

И ещё - в двух разных вариантах скорость прокачки реально ОЧЕНЬ сильно разнилась. В идеале получается, что для наилучшего результата надо вообще закрыть затвор! И расход газа уменьшится в добавок :-) Единственное в этом варианте будет сказываться натекание. Mihel - это на счёт тебя! :-)

 

В общем что-то задумался я на счёт высказывания Mirsa на счёт кислорода.

Но интуиция подсказывает, что тут всё не так просто. Надо делать анализ покрытия на стенках камеры. А с другой стороны - ну чем объяснить синеву? - Оксидом? А может какие-то специфические нитриды?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

А с другой стороны - ну чем объяснить синеву? - Оксидом? А может какие-то специфические нитриды?

Вначале нужно начиться гарантированно получать равномерно синий. :8P: . По заказу..

Либо желтый либо синий..А потом уже смотреть как же оно всё таки получается.

НО:

На низком давлении синего не видел никогда, низкое - это режим нагрева и близкий к нему..Чистая третья начало четвертой в мм..

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

На низком давлении синего не видел никогда

 

Ну так правильно - один металл прёт. Нитридов и оксидов минимум. На низком давлении можно жёлтый цвет и на кислороде получать:-) Но это будет очень непростой жёлтый цвет. Совершенно не тот первый или второй или третий жёлтый, как мы к этому уже привыкли при росте интерференционных плёнок.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Тут разница в том, что стенки без потенциала, а детали с потенциалом

Такое оспорить не могу,единственное что добавлю -как обьяснить это понятие "потенциал"ионам титана или других металлов ,что-бы они всем табором наперегонки в правильном направление тикали,а не на стенку ложились,потом под шабер и в мусорный совок. :wacko:

При обжиге катода- подашь или не подашь напряжение на стол,стенкам все равно:они бело-серые.

Вот при напуске азота в камеру, именно давление газа определяет цвет стенок+примеси ,но в меньшей степени. :hi:

Азот у нас всегда ОЧ с Балашихи

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Пока спал, а вы тут накидали идей... Про цвет стенок. Чистая фольга изначально после замены и после первого пробного напыления выглядит чисто золотой и т.к. специально ее не мою, то тоненькими шкурками местами облезает. Если резинка двери не течет, то и синевы нет никакой. На второй -третий раз цвет еще вполне чистый и красивый. Постеренно,с ростом толщины шлака, цвет смещется в коричневую сторону и наблюдается пористость типа губки. В местах, которые затенены от прямого попадания - наблюдается смещение в серую сторону.

Специально стенки не снимал, но что-то в архиве нашел. Вот новая и вот, справа, случайно нашел фотку. Думаю это состояние после

примерно 10-15 напылений. Крнечно, к концу срока все выглядит не так красиво

 

post-30899-003700000 1337915297_thumb.jpg post-30899-097312400 1337915329_thumb.jpg

 

Про прикрывание затвора в процессе напыления - я пробовал многократно и категорически против этого метода:

1 - уменьшение скорости откачки = увеличение примесей в газовой среде. Аналог - бассейн две трубы или полоскание в стоячей или текучей воде.

2 - Закрывание слегка бывает полезно, но степень "слегка" каждый день другая и жуткая нестабильность... Я предпочитаю дырку решетки

закрывать частично. Еще есть метод контроля по давлению между диф и мех насосами... но датчик давления в форвакуумной трубе -

обычно и врет изрядно и в маслянных парах весь и не верю я ему при напылении, а тем более если TiCN !

3 - Если крышка затвора только приподнимается - то откачки мало, а если открывать дальше т.е. сектор небольшой и прямо над дифом

А будет ли дифнасос работать в режиме или перекос однобокий возникнет ?

 

Вообще затронутая тема непосредственно сводится к выявлению соотношения "титан-азот" а это и цвет, и стохиометрия, и твердость

пленки. Короче, - наше все !

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Очень интересная тема ! От себя бы добавил ,что стоит обсудить и состояние масла в диффузионном насосе,

чем оно больше "прогорклое",тем более молекул примесей "летает " по камере .А это тоже влияет на цвет(не говоря про КПД насоса). ИМХО.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

немного подправлю : Стенки камеры под положительным потенциалом ...!

Это если кабель отсоединить и кинуть временно на поворотный стол , а стенки камеры в этот момент будут свободны от потенциала ... И думаю все равно стенки запыляться

 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Стенки камеры запыляются нейтральным паром. Капли летят по прямой, нейтральный титан

заполняет равномерно весь объем. Или как? Или есть версия, что титановый ион пошОл против поля.

Или есть версия с отрицательными ионами титана?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

1.Звучало слово "губка". Поэтому имхо на "свежих" экранах и почищеной камере цвет хороший. А дальше губка набирает всяких г. и при нагреве да на ВВ красиво газит.

2. Поток паров масла из ДН имеет место и в направлении камеры. Чуть-чуть - но ДА. Особенно если дуговиков работает несколько. Или магнетрон при приличной газовой нагрузке ( 10 в нулевой паскаля....оксиды, нитриды)... Именно для избежания этого используют полуоткрытое положение затвора. Чтоб не срывать поток паров в ДН.

3. Пылили посуду оксидами. Так вот, если не почистить после оксида камеру, никакие танцы с бубном в (и вокруг) этой камере не помогут сделать достойный по цвету ( не говря уже про прочиие свойства) нитрид титана. Только смена экранов , болгарка и молоток с сопутствующими зубилами..

3. Про потенциал. Не думаю, что стол с потенциалом 100-200 В относительно камеры так уж завернет все ионы на себя. Ускорит те что близко - Да.... Основной ток - пусть 90А таки течет между катодом и камерой . И лишь несколько ампер - через подложку(стол)....

4. В дуговой плазме очень много нейтралов и других крупных частиц от нескольких атомов до капель.... Уж они точно летят по законам механики и им пофиг любые потенциалы шо камеры, шо подложки...

Где-то такое имхо... ...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

А синяя или цветная камера (разноцветная в смысле) - скорее результат 1)подтекания 2)газовыделения самого покрытия со стенок 3)места ввода газа 4) отклонения дуги как было у himika 5) градиентов температуры в разных частях оной камеры 6) кидануло масло. ... . Тут бы действмтельно соскрести да посмотреть составы но не на чем ...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

3. Про потенциал. Не думаю, что стол с потенциалом 100-200 В относительно камеры так уж завернет все ионы на себя. Ускорит те что близко - Да.... Основной ток - пусть 90А таки течет между катодом и камерой . И лишь несколько ампер - через подложку(стол)....

90 Ампер это катод-анод для создания дуги и даже 3 раза по 90А . А а несколько ампер "неосновного" через подложку - так это от другого источника.

Для чистоты эксперемента надо эти несколько ампер выключить....

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×