Перейти к содержанию
surik

Магнетронное напыление

Рекомендуемые сообщения

Вопрос к тем кто знает какую функцию выполняют постоянные магниты находящиеся внутри катода.

Вопрос встал из-за того что последнее время приходится проводить напыление при токах катода значительно больших чем раньше иначе идет чернота на изделии.Есть подозрение что магниты сели хотя они и магнитятся но все растрескались, подскажите в них ли дело.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Если идёт чернота на изделии, это значит вакуум недостаточный и увеличением тока ( т.е. потока металла)

Вы увеличиваете чИстоту покрытия. А если магниты сели, то при том же токе увеличивается напряжение при котором

магнетрон горит (и мощность потребляемая тоже). Т.е. выгодно, чтобы в магентроне были более сильные магниты

для снижения напряжения горения. (до определённых пределов)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А кто нибудь знает сам принцип работу магнетрона .Теоретически?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А кто нибудь знает..?

Google, Яндекс, Википедия, Rambler и еще много кто знает.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А кто нибудь знает сам принцип работу магнетрона

Не будучи способным самостоятельно вникнуть в элементарные основы, может, следует переквалифицироваться в землекопы, там попроще. Чужим умом среди магнетронщиков трудно остаться, (уважаемый (ая)).

 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А кто нибудь знает сам принцип работу магнетрона .Теоретически?

 

Теоретически-при помощи пересечения магнитного и эл.полей происходит ионизация аргона.который бомбардирует распыляемую поверхность.выбивая из нее атомы того чего надо распылить.

То что распылилось-летит на то,что надо напылить.

Усе.pardon.gif

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А кто нибудь знает сам принцип работу магнетрона

Откройте тему - "магнетрон своими руками". Сфотографируйте свой магнетрон,

целый и разобранный. Основных деталей там три - катод, магниты и магнитопровод.

Остальные вспомогательные. И ещё источник питания хитросиксуальный.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Я прошу прощения дело в том что я не занимаюсь напылением просто аппарат БУЛАТ вышел из строя сгорели кондеры на питании магнетрона,попросили отремонтировать, после замены оператор говорит что раньше напыляли при меньшем токе катода отсюда и вопросы.И еще вопрос что такое ток горения катода сколько он составляет для меди латуни и бронзы, я так понимаю это ток напыления.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Теоретически-при помощи пересечения магнитного и эл.полей происходит ионизация аргона.который бомбардирует распыляемую поверхность.выбивая из нее атомы того чего надо распылить. То что распылилось-летит на то,что надо напылить.

Спасибо за инфу, заинтересовался Вашим направлением, - посмотрю. Но до того, в двух словах, пож. скажите про высоковольтное питание: сколько киловольт? В свое время не осилил спроектировать и изготовить импульсное питание 25 кВ...

 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Если это просто магнетрон и просто источник ,

то 250-450 вольт горение 1000-1300 вольт поджиг.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Всем спасибо вопрос решили действительно после выброса масла лампа стала неправильно показывать вакуум попробовали дополнительно прокачать и нормально пошло.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Ну принцип работы магнетрона не сложный - под воздействием напряжения рабочий газ (аргон в основном) ионизируется - для этого то он и нужен при магнетронном напылении, в отличие от электро-дугового вакуумного, ионы аргона выбивают частицы расходного металла с мишени магнетрона, но, для того, чтобы этот процесс шел лавинообразно, ставят магнитную систему, которая возвращает ионы аргона и заставляет их бомбардировать мишень снова и снова. Форма треков видна по выработке мишеней магнетронов, причем по ней же и можно увидеть, в каком месте магниты уже севшие- треки отклоняются от формы, либо вообще присутствуют участки обрыва трека.

Само размагничивание происходит вследствие перегрева магнита, температура. которую может выдержать магнит, зависит от типа магнита (А, В или С). Т.о. охлаждение магнетрона - весьма существенный фактор. при увеличении токов работы магнетрона очень вероятен перегрев как магнетрона так и магнитов в частности. Будте бдительны и контролируйте температуру воды на выходе с магнетронов!

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Отличая тема тут завелась... Уважаемые RomaniUS, на ваш взгляд на типы магнетронов чувствуется отпечаток парадигмы "элан практик" о типах магнетронов и делении их на классы, что у меня вызывает некоторое сомнение. Не пробовали ли вы переделывать магнетрон из А класса в В или С?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ставят магнитную систему, которая возвращает ионы аргона и

заставляет их бомбардировать мишень снова и снова.

Вот именно в это месте полное фуфло..Ионы аргона положительные и они сами летят

на катод магнетрона, на котором минус 300-700 вольт.

Магнитная система не для этого.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

так так так... магнитная система служит для удержания эммитирующих с поверхности мишени электронов в прикатодной области... они там закручиваются, балтаются туда-сюда и производят многократные акты ионизации аргона, тяжелые ионы которого совершают акт катодного распыления с поверхности мишени... чем больше электронная плотность в прикатодной области тем больше энергия ионов аргона, тем больше распыление... и если не ошибаюсь то и ионы распыляемого металла так родяться при соблюдении высокой степени ионизации в прикатодной области... другой вопрос - долетят ли они ионами до подложки или успеют деионизоваться...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

чем больше электронная плотность в прикатодной области

тем больше энергия ионов аргона, тем больше распыление

Где логика где смысл?

В области ионизации (там где светится) кинетическая энергия ионов равна нулю (именно та часть энергии, которая нам нужна), а потенциальная эквивалентна потенциалу электрического поля относительно катода. И от плотности электронов совершенно не зависит, только от расстояния до катода. И вот этот вот ион аргона пошел на катод с ускорением в электрическом поле катода.

А распыление будет больше, когда вместо аргона будут лететь ионы металла ( у них масса больше).

И цвет бублика приобретает цвет ионов металла. Например сиреневый (но не такой как у аргона) у олова, голубой у алюминия, зелёный у меди. В этот момент можно аргон закрыть, и разряд

будет гореть, если и магнетрон и источник его питания это позволяют.

и если не ошибаюсь то и ионы распыляемого металла так родяться при соблюдении высокой степени ионизации в прикатодной области... другой вопрос - долетят ли они ионами до подложки или успеют деионизоваться...

Не долетят ионами до нейтральной подложки. Они же тоже положительны и полетят на катод. На подложку летят нейтральные атомы. Кроме экзотических случаев, когда на подложке смещение.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

что родит ион аргона?

электрон с катода.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

а потом куда он летит? по идее должен вертеться в магнитном поле. так?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А потом их уже два получается. Из одного электрона два. Прикольно. Обхохочешься.

По первому закону Кирхгофа если ион полетел на катод,

то оба этих электрона улетят на стенки камеры. Ион и электроны статистические,

режим стационарный и электрон не есть волна в этом топике.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

волна в этом топике магнетронное напыление

 

быстрые, электроны с большой энергией которой хватает чтобы вырваться из магнитной ловушки вылетают в около катодное пространство - а там уж как повезет.. толи на камеру, толи еще раз аргон ионизирует, толи рекомбинирует.... НО по закону распределения электронов по энергиям большинство электронов остаются в магнитной ловушке.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Да всякое бывает, появится умник, начнет выписывать волновую функцию, а символов не хватает :lol: Если ток из провода в катод 10 ампер, то из бублика на стенки камеры электронный ток тоже 10 ампер. Из бублика в катод не менее 10 ампер ионного тока и соответственно из катода в бублик не менее 20 ампер электронного тока. (ионный ток равен добавочному электронному току)А то что внутри бублика или как там магнитной ловушки, быстрые, медленные, по максвеллу или по фигу как бы неинтересно.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

как же тогда увеличивают ионную составляющую

разбалансируя магнитную систему..

Ионную составляющую чего? Пока болтовня идёт про самый обныкновенный магнетрон.

С нейтральными летящими атомами и подложкой без смещения. Ионы летят на катод.

Электроны летят на стенки камеры или на реальный анод

который вокруг магнетрона. Экзотические приколы из российской глубинки пока не обсуждались.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

так давайте обсудим... тут же форум... здесь обсуждают...

 

российская глубинка это вы имеете ввиду Элан-Практик? http://www.nanonewsnet.ru/articles/2011/yurii-agabekov-lyudmi-ot-nauki-my-byli-dvadtsat-let-nazad

Изменено пользователем jazzbass

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.