Перейти к содержанию
Bedolaga

Установка магнетронного напыления с нуля

Рекомендуемые сообщения

Добрый вечер форумчани!

Случилась у меня беда!

Как самого активного сотрудника, руководство озадачило меня заняться изготовлением установки напыления. Напылять необходимо нитрид-титана на нержавеющую сталь. Вот уже вторую неделю изучаю процесс напыления и с каждым днем все больше склоняюсь к безнадежности этого процесса, ввиду отсутствия у меня знаний и не понимания этих глубоких процессов.

Но если честно отступать некуда, поэтому рассчитываю на вашу помощь.

На данный момент нашли и купили установку УВМ-15. Размер камеры Диаметр 1600, длина 1800, в комплекте 2 затвора на 400, 2 ловушки водяные, 2 паромасляных насоса и остальное по мелочи. Сейчас она в пути к нам, по приезду будем анализировать и смотреть состояние.

Установку решили делать магнетронную. Так как удалось найти магнетрон длиной 1020 мм.

Сейчас интересуют следующие моменты:

1.      Напыление необходимо делать на объёмные изделия. В связи с этим необходимо реализовать вращение изделий внутри камеры. Как реализовать ввод вращения в камеру? Может у когото есть мысли по этому поводу. Буду очень признателен.

2.      Что применить для очистки подложки, очистку ионным пучком или метод тлеющего разряда? Из литературы понял что очистка ионным пучком более эффективна. Хотелось услышать мнение специалистов. (Хотя из описания двух этих методов в разных источниках в чем у них разница не понял)

3.      Для качественного напыления достаточно одного магнетрона длиной 1020 мм или необходимо перекрывать всю камеру (длина камеры 1800 мм).

4.      Что применить в качестве форвакуумного насоса АВЗ-180 или АВР-150/25. Хотелось услышать плюсы и минусы.

5.      Нужно ли ставить насос после паромасляных насосов? Если да, то что посоветуете.

6.      Для измерения вакуума хочу поставить датчики Пирани. Кто то сталкивался с ними, какова их точность и надежность. Или поставить старый советский ВИТ-2 или аналогичное.

7.      Хочется сделать установку максимально автоматизированной. Посоветуйте натекатели с управлением.

8.      Для написания управляющей программы (систему управления будем делать на базе контроллера Siemens) посоветуйте литературу, где прописаны последовательность включения/отключения исполнительных механизмов (насосы, краны, затворы и т.д.) , параметры при которых они включаются.

9.      После завершения процесса как происходит напуск атмосферы в камеру, через какое устройство?

Надеюсь на ваше понимание и помощь

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
12 минут назад, Bedolaga сказал:

реализовать вращение изделий внутри камеры. Как реализовать ввод вращения в камеру?

Поворотная площадка, мотор с редуктором. Ввод питания через переходной герморазъем стеклянный. В серии 2РМ есть такие.

15 минут назад, Bedolaga сказал:

Для измерения вакуума хочу поставить датчики Пирани. Кто то сталкивался с ними, какова их точность и надежность.

Все отлично.

15 минут назад, Bedolaga сказал:

9.      После завершения процесса как происходит напуск атмосферы в камеру, через какое устройство?

Обычный электроклапан.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
23 минуты назад, Bedolaga сказал:

необходимо реализовать вращение изделий внутри камеры

 

8 минут назад, pchel сказал:

Поворотная площадка, мотор с редуктором. Ввод питания через переходной герморазъем стеклянный. В серии 2РМ есть такие.

 

 

 я в напылении вообще ничего не понимаю и не знаю.

для вращения:

простой пружинный механизм ?

или еще круче: маховик (инерционный аккумулятор) ?

:)

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
11 часов назад, Bedolaga сказал:

Надеюсь на ваше понимание и помощь

Решение есть для ваших установок полное.

Магнетрон - забудьте. На нержавейку в объеме - подойдёт линейный дуговик. Вы просто не поставите технологию с магнетронов. На такой установке.

Очистка - ионными источниками - эффективно очень. Но это дорого! Затраты будут миллионные, если ещё и газонапуск, ввод и привод вращения, блок питания смещения, блок управления вакуумной системой. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Евгений подскажите пожалуйста, при применении дугового испарителя напыление будет равномерным?  Если ставить дуговой испаритель по длине он должен всю камеру перекрывать? Там где мы раньше напыляли углы изделий отличались по тону, где то бывало вообще не напылялось практический. У них  камера магнетронная была.

По очистке решил остановиться на тлеющем разряде. Источник смещения пока проработал Зеленоградский. Может кто посоветует более бюджетного производителя, оптимального с точки зрения цена-качество.

По вводу вращения вопрос пока открытый. Нашел готовый, но вал там 12 мм маловат будет.

На газонапуск хочу поставить регулятор РРГ-12.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
2 часа назад, Bedolaga сказал:

Если ставить дуговой испаритель по длине он должен всю камеру перекрывать?

Да, по длине всю камеру.

 

2 часа назад, Bedolaga сказал:

напыляли углы изделий отличались по тону, где то бывало вообще не напылялось практический. У них  камера магнетронная была.

Это вообще проблемы магнетронов. У них "дальнобойность" не велика.

 

2 часа назад, Bedolaga сказал:

По очистке решил остановиться на тлеющем разряде. Источник смещения пока проработал Зеленоградский. Может кто посоветует более бюджетного производителя, оптимального с точки зрения цена-качество.

Тлеющий - это паллиатив. Перенос грязи с одного места детали на противолежащие. Потому что давление высокое. И распыленный материал переосаждается обратно. По блоку питания. Это какой фирмы? ЭСТО-Эл? Это самые дорогие блоки. Хотя и хорошего качества. 

РРГ-12 ставить можно. Но газонапуск надо сделать правильно. Пара ионных источников L850 конечно, не дешевое удовольствие, но радикальное. 

И про смещение на изделия не забывайте.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
19 часов назад, ev_berlin сказал:

Пара ионных источников L850 конечно, не дешевое удовольствие, но радикальное. 

Зачем пара L850 если можно поставить один Луч-1600? :classic_biggrin:

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
20 часов назад, ev_berlin сказал:

Тлеющий - это паллиатив. Перенос грязи с одного места детали на противолежащие. Потому что давление высокое.

По триодной схеме вполне прилично.( Это то, что некие учёные называют ПИНКом). И не дорого, если самим изготавливать. Но требует изолированной подвески для деталей.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
В 02.02.2022 в 19:16, Vladimir Savenko сказал:

Зачем пара L850 если можно поставить один Луч-1600? 

Потому что L850 легко даёт 2 А тока при 3 кВ на аргоне. А сколько даёт Луч-1600?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу

×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.