Перейти к содержанию
Авторизация  
RUS-NIK

Подготовка подложек перед напылением. Атмосферная ионная очистка.

Рекомендуемые сообщения

Добрый день. Есть такой вопрос .Перед напылением мы стекляшки( кварц.сапфир.германец и т.д) моем в кислотах спирт, ну и в вак.камеру . там еще доп ионным источником перед процессом. НО бывает что покрытие валится от самой подложки, как тока не меняй режим.....один фиг - отслой. Есть вот такое чудо в свете - Установка атмосферной плазменной очистки . Может кто сказать если эту штуку использовать для очистки подложек перед загрузкой в камеру ну и далее по рецепту. ПОМОЖЕТ ЛИ ЭТО адгезии ??? в инете все красиво но как наделе ? Если кто сталкивался именно для напылительных дел, дайте свое мнение. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
42 минуты назад, RUS-NIK сказал:

НО бывает что покрытие валится от самой подложки, как тока не меняй режим.....один фиг - отслой.

Возможные варианты проблемы в случае, если отмыли хорошо и ионный источник работал:

1. Плюётся маслом насос.

2. Что-то газит в камере или в самой камере дырка.

3. Очень толстый слой напыляете.

4. Подложка не дружит с вашим ионным источником (ОЧЕНЬ редко, но бывает).

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
1 час назад, RUS-NIK сказал:

Перед напылением мы стекляшки( кварц.сапфир.германец и т.д) моем в кислотах спирт, ну и в вак.камеру .

А что напыляете?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Атмосферная плазма - это скорее для не имеющих вакуума. в воздухе целый букет газов и вода, неизвестно  будут ли взаимодействия подложки  с какими нибудь из них. 

Ионный источник в вакуумной камере сделает все то же самое в контролируемых газах ( аргон, кислород) намного более предсказуемо.

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
11 часов назад, RUS-NIK сказал:

Установка атмосферной плазменной очистки . Может кто сказать если эту штуку использовать для очистки подложек перед загрузкой в камеру ну и далее по рецепту. ПОМОЖЕТ ЛИ ЭТО адгезии ??? в инете все красиво но как наделе ? Если кто сталкивался именно для напылительных дел, дайте свое мнение

Нормальный ионный источник решает задачи адгезии достаточно уверенно. Конкретные проблемы у вас ( оптическая установка, полагаю?) Надо начать с того, что у вас за источник - чем чистите. Какая установка. Чем чистите. И откуда и что именно "отваливается"?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Да заточено все под оптику. На Источник 1500в. 100ма в аргоне. А отслой в основном с германской подложки. Машина вся безмаслянная.(турбина стоит, когтивик,крио панель.)Про дырки все норм в пределах разумного. А про плазму - это я как доп очистка перед тем как в камеру установить.

а пылим германец.фторид итрия.кварц.моноокись кремния.кремний.сульфит цинк. оксид гафния. и т.д.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
1 час назад, RUS-NIK сказал:

а пылим германец.фторид итрия.кварц.моноокись кремния.кремний.сульфит цинк. оксид гафния. и т.д.

Что за источник ионный? Не "Радикал", надеюсь?

Можно угадаю? Отваливается сульфид цинка с германия... Его обычно с ассистированием напыляют. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Наверно да

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
Авторизация  

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу

×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.