Перейти к содержанию
Roman_msk

ищу информацию по измерителю скорости напыления

Рекомендуемые сообщения

Добрый день,

интересует информация по блоку измерения скорости напыления на основе кварцевого элемента, особенно интересна инфа по советской системе, возможно кто еще применяет у себя на вакуумных установках. Буду весьма признателен за помощь в документации, опыт применения, замены и эксплуатации!

Учитывая давность лет и специфичность данного вопроса, в сети мало полезной инфы, увы ... у меня есть только "обрывки" данных как то пьезоэлемент который применялся в 068-х установках электронно-лучевоно напыления назывался ПК-004, есть один образец, похож на современные (масс-чувствительные) сенсоры QCM, хотел бы понять и разобраться в вопросе как велся рассчет на советских установках вакуумного напыления зависимости между изменение частоты в процессе напыления пленки и толщины пленки и/или скорости ... может кто уже "погружался" в данном вопросе и может помочь советом или материалами?!

 

Заранее благодарен,

Роман.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
2 часа назад, Roman_msk сказал:

Учитывая давность лет и специфичность данного вопроса, в сети мало полезной инфы, увы ... у меня есть только "обрывки" данных как то пьезоэлемент который применялся в 068-х установках электронно-лучевоно напыления назывался ПК-004, есть один образец, похож на современные (масс-чувствительные) сенсоры QCM, хотел бы понять и разобраться в вопросе как велся рассчет на советских установках вакуумного напыления зависимости между изменение частоты в процессе напыления пленки и толщины пленки и/или скорости ... может кто уже "погружался" в данном вопросе и может помочь советом или материалами?!

Задача в чем? Восстановить старый "советский" прибор или измерять толщину?

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
7 часов назад, ev_berlin сказал:

измерять толщину?

именно! восстанавливать нечего, ибо шкафное оборудование не сохранилось, нужно разобраться в принципе измерения толщины, никак не могу найти внятное описание зависимости между изменением частоты резонатора и толщиной пленки напыленного на него в процессе работы. 

Сразу скажу, что я понимаю что лучше купить готовый прибор за 500т.р., но у меня нет таких средств, поэтому хотел бы разобраться в данном вопросе

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
11 часов назад, Roman_msk сказал:

информация по блоку измерения скорости напыления на основе кварцевого элемента

Вскрывался кварцевый резонатор, на него напылялось где-то рядом с подложками. Паялась схема кварцевого генератора на одном транзисторе и подключался частотомер. Увеличивается масса - падает частота.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
28 минут назад, mirs сказал:

Увеличивается масса - падает частота.

это и так понятно, вопрос в пропорции между частотой резонатора и массы напыленного материала

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
15 минут назад, Roman_msk сказал:

вопрос в пропорции между частотой резонатора и массы напыленного материала

У кварцевых резонаторов есть теория с формулками.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
4 минуты назад, mirs сказал:

У кварцевых резонаторов есть теория с формулками

ссылкой на материал не поделитесь?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

1824854854_.thumb.png.58002df3e08477710a4414bbef709387.png

Из "Inficon stm 2 operator manual", файл легко гуглится.

Вообще некоторые производители такого оборудования делают довольно подробную документацию.

Мыль собрать такой приборчик самому меня посещала, ибо ценообразование на такие готовые лежит за рамками моего понимания. Но где бы взять на это время?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
2 часа назад, Roman_msk сказал:

ссылкой на материал не поделитесь?

Ну мне также придется гуглить. Там чисто механический резонанс.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу

×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.