Перейти к содержанию
kowalski

Отжиг резистивного слоя

Рекомендуемые сообщения

Здравствуйте.

Можете ли советом помочь по теме отжига резистивных плёнок? В разделах форума я не нашел желаемой информации.

Напыляем резистивный слой на установке вакуумного напыления УВН-75-П1(замена/модернизация установки пока что невозможна) с мишени РС-3710. Достаточно проблематично попадать в требуемый номинал, даже в пределах одной партии разброс бывает весьма существенный, но с  учетом уже накопленного опыта получается добиваться желаемого результата. Хотелось бы проводить последующий отжиг плёнки в вакууме, но я не могу найти конкретной информации по такому типу отжига, да и в целом хорошую книгу по отжигу найти не удалось, хотя технология напыления уже довольно старая. 

Можете ли вы подсказать,какую литературу можно прочитать по отжигу? Также может кто подскажет что можно сделать исходя из личного опыта.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
В 05.10.2020 в 13:41, kowalski сказал:

Можете ли вы подсказать,какую литературу можно прочитать по отжигу? Также может кто подскажет что можно сделать исходя из личного опыта.

На ИПР-е напыляете? 3710 достаточно устойчивый материал, зачем  вы его отжигаете? Да, а какой номинал напыляете?

Отжиг таких пленок делают обычно, не вскрывая камеры. Понимаешь температуру до 400, выдержка минут 5, после отключаешь нагрев и напускаешь атмосферу. Вращение не отключать, контроль свидетеля продолжать вести. Номинал, как правило, подрастает, существенно. Не вскрывая установки, снова откачиваешь установку и допыляешь номинал, если не угадал до отжига. Равномерность ( разброс номиналов по партии) много от чего зависит. Даже при равномерной толщине пленки. 

Немного по технологии резистивных пленок посмотри в книге "Технология тонких пленок..." на этом форуме. Автор Сейдман и ваш покорный слуга...

Берлин Е.В.и др.Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. 3 части (pdf)

Проведите поиск она есть в наличии на этом форуме.

Изменено пользователем ev_berlin

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу

×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.