Перейти к содержанию
Авторизация  
VF50

Технология микроэлектроники

Рекомендуемые сообщения

5 часов назад, romanes сказал:

Совмещение происходит при достаточно сильном фотоувеличении, подачи микровинтов для этого вполне достаточны.

Не понял мысль, какое такое "фотоувеличение". 

Совмещение "один раз на экспонирование пластины" - это для групповых масок, прошлый век, сейчас другие методы. Да и пластины другие - 300 мм, экспонирование пошаговое,  всё в вакууме, какие там винты... А то, что раньше хватало "редукторными микродвигателями, обычными коллекторниками" не оспариваю. 

Но человек хочет понять как делают "сейчас", а не как делали сорок лет назад. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
52 минуты назад, Исаев Михаил сказал:

Не понял мысль, какое такое "фотоувеличение". 

Совмещение "один раз на экспонирование пластины" - это для групповых масок, прошлый век, сейчас другие методы. Да и пластины другие - 300 мм, экспонирование пошаговое,  всё в вакууме, какие там винты... А то, что раньше хватало "редукторными микродвигателями, обычными коллекторниками" не оспариваю. 

Но человек хочет понять как делают "сейчас", а не как делали сорок лет назад. 

Постараюсь объяснить.

 Совмещение шаблона и пластины происходит исключительно совмещением меток на том и том. Совмещение  достигается оптическим увеличением, чаще всего спец микроскоп.  Вот например наша вполне современная установка совмещения и экспонирования ЭМ-576А, или вот вполне современная японская  EMA 400. "Простое выравнивание с помощью микроскопа с разделительным полем (область совмещения изображения с разделенным полем). Микроскоп используется для выравнивания (положения регулировки) между фотошаблоном и пластиной. Подтверждение меток совмещения в двойном поле зрения поможет избежать расхождения между маской и пластиной, и это позволяет совмещать фотомаски (фотошаблоны) большого размера с высокой точностью в модели установки совмещения и экспонирования EMA 400. Стоит отметить что установка контактной литографии EMA 400 относится к настольным системам, но одно из отличий это то, что она имеет Split-Field микроскоп с улучшенной точностью выравнивания (точность выравнивания меньше ± 3 мкм). Раздельная линза объектива от 15 до 75 мм для переменной работы с небольшими аморфными размерами пластин." https://mivatek.ru/oborudovanie/ustanovki-sovmeshheniya-i-eksponirovaniya/ustanovka-sovmeshheniya-i-eksponirovaniya/

Да, есть и автоматические установки, например SUSS MA300 Gen2. Совмещение по меткам как автоматическое так и ручное, опять же оптическим методом только это сути не меняет, перемещение осуществляется микровинтами и там и там. 

 

 

Установка.jpg

1 минуту назад, romanes сказал:

всё в вакууме

Да вакуум там нужен, чтобы закрепить пластину к столику.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Насколько я понял автора темы, его интересует современная технология, с эквивалентными проектными нормами 7 нм, он упоминает точность перемещений в нанометр, там излучение с длиной волны 14 нм используют, линзы делать не из чего, да и шаблоны тоже, там всё на зеркалах.

2 часа назад, romanes сказал:

Да вакуум там нужен, чтобы закрепить пластину к столику.

Вакуум там нужен потому, что воздух для такого излучения не прозрачней дёгтя, какая там контактная литография...

Ну и так далее...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
10 минут назад, Исаев Михаил сказал:

Насколько я понял автора темы, его интересует современная технология, с эквивалентными проектными нормами 7 нм, он упоминает точность перемещений в нанометр, там излучение с длиной волны 14 нм используют, линзы делать не из чего, да и шаблоны тоже, там всё на зеркалах.

Заинтересовали. Попробую узнать где это применяется.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
34 минуты назад, Исаев Михаил сказал:

Насколько я понял автора темы, его интересует современная технология, с эквивалентными проектными нормами 7 нм, он упоминает точность перемещений в нанометр, там излучение с длиной волны 14 нм используют, линзы делать не из чего, да и шаблоны тоже, там всё на зеркалах.

А нельзя ли привести в пример какой нибудь девайс, созданный по этой технологии?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
19 минут назад, romanes сказал:

А нельзя ли привести в пример какой нибудь девайс, созданный по этой технологии?

Современные процессоры, память и подобное. Это большая тема - современные полупроводники.

Вот несколько статей с Хабра:

Как фирма из Эйндховена стала монополистом на рынке современного оборудования для производства микросхем
https://habr.com/ru/company/dcmiran/blog/490682/
Как разрабатываются и производятся процессоры: изготовление чипа
https://habr.com/ru/post/457952/
Технологии микроэлектроники на пальцах: «закона Мура», маркетинговые ходы и почему нанометры нынче не те. Часть 1
https://habr.com/ru/post/453438/

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Вот вроде в Томске, научные работы публиковались до последнего времени 

профессор  В.С.Янгулов, по очень точной механике они там для космоса чёт ещё разрабатывают, но похоже больше донести остатки знаний. 

Погуглив можно найти в рунете, сквозь мегатонны мусора чем завтрака примадона. 

Сами фотошаблоны с тех. процессом 7 Нм  делают только две шараги в мире, широко известные в узких кругах. 

Одна в Европе в Амстердаме вроде, вторая в штатах, весь мир у них заказывает. 

В вики все это есть. 

Секрет полишинеля, сама механика не особо дорогая и секретная, в доли стоимости установок копейки. 

Основное это софт, на базе которого управляется механика, а это сотни тысяч часов, самых дорогих программистов мира. 

 

У китайцев попадались сканеры, если не ошибаюсь могут послойно снять копию с чипа до тех. процесса 65 Нм в автоматическом режиме без участия человека. 

Стоит установка несколько сотен вечной зелени, кто им по дружбе слил технология покрыто мраком. 

Так как то сам интересовался, тонкостями. 

 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
25 минут назад, Исаев Михаил сказал:

Как фирма из Эйндховена стала монополистом на рынке современного оборудования для производства микросхем

Эх вот бы где наладчиком поработать... 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
20 минут назад, vinhester сказал:

Секрет полишинеля, сама механика не особо дорогая и секретная, в доли стоимости установок копейки. 

Основное это софт, на базе которого управляется механика, а это сотни тысяч часов, самых дорогих программистов мира. 

Секрет не столько что сделать, сколько как сделать.

И не думаю, что софт основное, основное технологии. Софт - это в разработке.

Такие системы - это комплекс знаний и технологий во многих областях, в том числе и в программном обеспечении.

12 минут назад, romanes сказал:

Эх вот бы где наладчиком поработать...

Боюсь, что нас даже уборщиками не возьмут.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
37 минут назад, romanes сказал:

Эх вот бы где наладчиком поработать... 

Зачем эти полумеры. Устраивайтесь акционером с пакетом 51%.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
18 минут назад, Исаев Михаил сказал:

И не думаю, что софт основное, основное технологии. Софт - это в разработке.

 Тут было в старых темах погружение на примере уровеня высокоточным приводов митцубиши. 

Допустим привода общепромышленного применения и спецприменения не сильное различия, а вот драйверы управления разнятся уже на порядок в ценах. 

Т. е. на одном и том же приводе можно получают разные порядковый точности, все сводится к уровню системы управления, более скоростные чипы, способные  в разы больше информаций прогнать за ед. времен, особые алгоритмы, интерполяторы, и.т.д.

Если посмотреть картину, высокоточным исполнительный модули делают и Итальянцы и даже в Испаний..

А вот системы управления, круг в разы уже. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
10 минут назад, vks сказал:

Зачем эти полумеры. Устраивайтесь акционером с пакетом 51%.

А следом уже приказ по предприятию "Принять акционера такого-то инженером-наладчиком с параллельным обучением всем ноу-хау"

14 минут назад, vks сказал:

Зачем эти полумеры. Устраивайтесь акционером с пакетом 51%.

Интересно же ведь

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Мечты, в чем ваша сладость...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Только что, romanes сказал:

А следом уже приказ по предприятию "Принять акционера такого-то инженером-наладчиком с параллельным обучением всем ноу-хау"

Боюсь, мало кому из нынешних "акционеров" даже мусор доверить вывозить можно.

8 минут назад, vinhester сказал:

А вот системы управления, круг в разы уже.

Чем совершенней технологии - тем уже круг, всегда было и будет.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

В цацках валялся столик, от установки для фотоэкспонирования с линий микроэлектронике. 

Сталь как керамика, на шарах внутри Преднатяг доли микрона.

DSC_1500.JPG

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
3 минуты назад, vinhester сказал:

Сталь как керамика, на шарах внутри Преднатяг доли микрона.

"Да что порционные судачки а-натюрель! Дешевка это, милый Амвросий!" - как было сказано Михаилом Афанасиевичем в его бессмертной книге. Далее цитата из статьи на Хабре:

 "Внутри самой современной EUV-машины каждую секунду 50 000 капель расплавленного олова падают через камеру в её основании. Пара высокоэнергетических лазеров на углекислом газе ударяет по каждой капле, создавая плазму, которая, в свою очередь, испускает свет нужной длины волны. Первый импульс преобразует каплю олова в туманную форму блина, так что второй импульс, который является более мощным и следует за ним всего через 3 микросекунды, взрывает олово в плазму, которая светится на длине волны 13,5 нанометров, как показано на видео. 

Затем свет собирается, фокусируется и отражается от узорчатой маски, чтобы проецировать узор на кремниевую пластину. 

Свет направляют зеркала, сделанные из слоёв кремния и молибдена, которые отшлифованы настолько точно, что, если их масштабировать до размера Германии, то на поверхности не будет выпуклостей больше миллиметра. Поскольку глубокий ультрафиолет поглощается почти любым веществом, включая воздух, процесс происходит в вакууме."

Я вот смутно представляю, как это всё сделать, хотя-бы с оловом. Но раньше того надо знать, что плазма олова даст такое излучение. Ну и всё прочее. Для этого нужны и научные, и инженерные, и организационные школы и традиции.

Наполеон про армию говорил, но можно перенести и на инженеров - кто не хочет кормить своих, тот будет кормить чужих (и гораздо дороже).

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
35 минут назад, Исаев Михаил сказал:

Я вот смутно представляю, как это всё сделать, хотя-бы с оловом. Но раньше того надо знать, что плазма олова даст такое излучение. Ну и всё прочее. Для этого нужны и научные, и инженерные, и организационные школы и традиции.

 Не далее как до нового технологического уклада...

 Первый машинный интеллект проектировали из пружинок и шестерней... 

Картины кинематики, как детище художеств из ада.. 

Помню механизм лентопротяжного представлялся адской механикой.. 

А вырезки с научного фронта, писали о механизмах ещё на порядок сложнее. 

А мир изменился быстрее.. 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
5 минут назад, vinhester сказал:

А мир изменился быстрее.

Да уж!

Не к добру это всё, ох не к добру!

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
Авторизация  

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.