Перейти к содержанию
Allent

пористые платиновые пленки на капролоне

Рекомендуемые сообщения

вопрос- кто имеет или умеет или знает как?

нужна пористая 300нМ пленочка на пленке капролона 

вместо платины можно оксид марганца, лишь бы адгезия была и высокая пористость.

альтернативные варианты- золото- палладий, иридий- родий.

подслой нихром 5-10нМ.

площадь покрытия 0.5 мм кв. групповым способом - 100 на 100 мм с размещенными на подложке готовыми чипами

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
17 часов назад, Allent сказал:

вопрос- кто имеет или умеет или знает как?

Не умеет никто, скорее всего..

Моя версия - напылить магнетроном платина-серебро или платина-золото и потравить цианидом.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
В 17.05.2020 в 22:44, Allent сказал:

вопрос- кто имеет или умеет или знает как?

Если в установке есть два магнетрона - то Вам можно поупражняться. С одного - нихром с хорошим вакуумом и всем остальным (для адгезии), а со второго - платину, давление в  1 паскаль поднять (а может и выше), магнетрон с катушкой будет неплохо, чтоб анбаланс в "другую сторону" закрутить (или сбалансировать, хотя бы) . Тут и пористось попрет, главное не переборщить, а то еще отваливаться начнет.

С платиной не работали и такого не делали, а с медью как - то делали, надо было, лет 5 назад, правда это совсем не чипы были.:)

Изменено пользователем ZAV.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
29 минут назад, ZAV. сказал:

а со второго - платину, давление в  1 паскаль поднять (а может и выше), магнетрон с катушкой будет неплохо, чтоб анбаланс в "другую сторону" закрутить (или сбалансировать, хотя бы) . Тут и пористось попрет,

Управляемая пористость - не значит говнослой на форвакууме.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
20 часов назад, mirs сказал:

напылить магнетроном платина-серебро или платина-золото и потравить цианидом.

А чем азотка будет плоха для травления в случае платина-серебро? С цианидами уж больно много "условностей".

И пылить придется сплав с достаточно малым содержанием платины, иначе не протравится. А там уже какая пористость получится - вопрос.

Изменено пользователем Velund

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
45 минут назад, Velund сказал:

А чем азотка будет плоха для травления в случае платина-серебро?

Капролон и нихром.

45 минут назад, Velund сказал:

С цианидами уж больно много "условностей".

Это же не тонны пустой породы.. Это микроколичества.

47 минут назад, Velund сказал:

И пылить придется сплав с достаточно малым содержанием платины, иначе не протравится

300 нм слой.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
21 минуту назад, mirs сказал:

Это же не тонны пустой породы.. Это микроколичества.

Для соискателей звездочек на погон количества не существенны, сам факт хранения/использования СДЯВ с нарушениями - хлеб.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
1 час назад, Velund сказал:

сам факт хранения/использования СДЯВ с нарушениями

Насколько я в курсе, ТС получит пакет любых документоф, если приспичит.

И это не технология... А так.. фантазии.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А что значит пористость?

Мы вот такое делали. Но из оксида титана. Технология - GLAD

768513207_TiO2filmsno14____30.thumb.jpg.62f722eae61ed47bda0e1d7a3b894ec9.jpg1632031006_TiO2filmsno14____25.thumb.jpg.62e1f8a75f62e39e7665e6af511e8166.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
6 часов назад, mirs сказал:

Управляемая пористость - не значит говнослой на форвакууме.

А про управляемую пористость никто и не спрашивал, вопрос был про высокую.:)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
5 часов назад, Alleus сказал:

Но из оксида титана.

Оксид титана как покрытие - ниачом. Разве что биосовместимость.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
8 часов назад, Alleus сказал:

Мы вот такое делали. Но из оксида титана. Технология - GLAD

Леша, можно подробней - что за технология? Интересная структура получается. У меня похожая с нанотрубками была... Локально пиролиз делали, на катализатор.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Напыление под скользящими углами. Glancing-angle deposition.

487115056_.thumb.png.575e459a81626560fdc1babc4c773f3f.png

Идея была в том, что бы меняя угол наклона образца к источнику паров (α) в вакуумной камере, и незабывая вращать образец вокруг соей оси (φ), менять оптическую плотность плёнки. Источник - электронно-лучевое испарение. На магнетроне у меня ничего не получилось. Оксид титана был взят как популярный материал. Я не вижу проблем взять вместо него оксид марганца или платину. Всё должно точно так же работать. Единственно, для моей установки, в текущей геометрии, достижимая полезная площадь - около 1 см2. На пластине 100х100 мм я так не сделаю.

По итогу, удалось менять показатель преломления плёнки от 2,3 до 1,15 меняя угол и только угол. И получить игольчатую структуру плёнки.

А оксид титана, между прочим, очень популярный материал для производства катализаторов.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
1 час назад, Alleus сказал:

По итогу, удалось менять показатель преломления плёнки от 2,3 до 1,15 меняя угол и только угол. И получить игольчатую структуру плёнки.

Здорово! Косое напыление...вот не знал, что такая структура может образоваться. Углы то очень маленькие?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Показатель 1,15 получен при угле α=85 градусов. Маленькие, да.

Причём эффект начинает всерьёз сказываться при углах больше 70. И чем угол ближе к 90, тем сильнее он влияет. Что ожидаемо. Но сейчас остановились на том, что этот угол придётся выставлять с точностью в доли градуса, а не на глазок, как раньше.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
1 час назад, ev_berlin сказал:

Здорово! Косое напыление...вот не знал, что такая структура может образоваться. Углы то очень маленькие?

Имхо ловля блох. Для статьи про наноковрик - прикольно. Даже в рейтинговый журнал.

Термическое испарение из точки в пределах маленького телесного угла.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

если пылить с магнетрона на малом токе(скорости) без нагрева и без смещения такая столбчатая картина как правило и получается. и результат - покрытие "залапывается" пальцами, жир с пальцев попадает и заполняет поры и потом не отмыть никак. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Оксидов марганца несколько. Тот, что в батарейках - MnO2, испаряться в вакууме не будет - разложится.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
9 часов назад, mirs сказал:

Имхо ловля блох.

Вопрос в том, что нужно получить и для чего. Если нужны рекорды в виде n=1.15, то это один вопрос. Если устроит значение показателя 1.2, то это уже другой вопрос. Поэтому сначала нужно понять, что вообще требуется.

Полученные нами результаты полностью согласуются с литературными данными и сами с собой. Я там не один образец напылял.

17 минут назад, antabu сказал:

Оксидов марганца несколько. Тот, что в батарейках - MnO2, испаряться в вакууме не будет - разложится.

Как и оксидов титана. Как и диоксид титана. Это решаемая проблема.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
8 часов назад, Henadzy сказал:

если пылить с магнетрона на малом токе(скорости) без нагрева и без смещения

Традиционный магнетрон дует нейтральным паром, как раз на малой скорости. Смещение не поможет никак.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
23 часа назад, mirs сказал:

Традиционный магнетрон дует нейтральным паром, как раз на малой скорости. Смещение не поможет никак.

Смещение вызывает бомбардировку ионами аргона из плазмы магнетронного разряда...ну и вообще ионами газа, если там не только аргон. Эта бомбардировка и влияет на структуру растущей пленки...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

была тема там подобное магнетроном пыли в вакууме

про пористость не помню но точно было про напыления платины на полимер для изготовления каких детекторов газа

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
8 часов назад, ev_berlin сказал:

Эта бомбардировка и влияет на структуру растущей пленки...

Структур-муктур. Наждачкой потер, если не стерлось - нормальный структур-муктур.

Какой чудо структуры мы ждем от напыленной пленки благородного металла?

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Я плёнки как-то делал металлические, свободновисящие. Напыляю на подложку соль, потом микрон титана. Сую в воду. Получаю лохмотья. Пылю титан со смещением (там вольт двадцать хватало что ли?). Сую в воду. Получаю плёнку. Наверное у меня магнетрон какой-то нетрадиционный, а я и не знал.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
27 минут назад, Alleus сказал:

Напыляю на подложку соль,

Магнетроном?

27 минут назад, Alleus сказал:

Наверное у меня магнетрон какой-то нетрадиционный,

Если соль напыляет, таки да.. Кстати какую именно соль?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.