Перейти к содержанию
Авторизация  
D2OLab

Выбор MFC (контроллера массового расхода)

Рекомендуемые сообщения

Приветствую!  Может кто то сможет помочь с проблемой контроллера массового расхода газа? Для управления потоком газа в вакуумную камеру изначально планировалось использовать микрометрический натекатель игольчатого типа. Массивная достаточно деталь с фланцем СФ35, установленная непосредственно на верх вакуумной камеры. Камера в процессе горения плазменного разряда немного нагревается, нагревая и натекатель, тем самым изменяется его пропускная способность, создавая неравномерные флуктуация подаваемого газа. Реакция чувствительна к изменению потока газа и со временем тухнет. 

 

Решил попробовать mfc контроллер. На рынке они есть, но ценник на нужный в районе полуторы тысячи евро и выше. Благо весь ебей ими завален начиная с 30 баксов за бу и 100 баксов за новые. 

 

Но у меня есть некоторый ньюанс. Мне нужен контроллер откалиброванный на водород и с верхним массовым расходом 1-2 sccm (1-2 cm3 в мин). Его я планирую использовать на нижнем, в рамках однопроцентной погрешности, пределе в 20% от верхнего предела sccm, может и меньше, но там погрешность растет по расходу. Так вот ситуация в том, что в продаже полно mfc на Н2, но с достаточно высокими sccm, и полно приборов с низким sccm, но они откалибрована на другие газы. Не найти mfc на водород с sccm в 1-2.   

Вопрос такой, если я возьму контроллер откалиброванный на кислород, например с пределом 2 sccm, и буду его использовать в пределах 0,2-0,6 sccm на другие газы ( как универсальный контроллер), скажется ли это на погрешность в значительной степени или нет, учитывая столь мизерный расход? Я понимаю что когда используется контроллер на литры (slm) и десятки литров в мин. , то там погрешность будет очень высокая в итоговом напуске, а тут чрезвычайно маленький расход и я думаю, можно ли пренебречь тем что контроллер откалиброванный на один газ, а я использую другой? 

 

Второй вопрос-идея, а можно ли сделать термостабилизацию моего микрометрического натекателя, посадив его на камеру через сф40 патрубок или тройник,  обмотав тройник медной трубкой и пустив по ней воду. Поставить датчик температуры копеечный, выставить пределы, при котором включается и выключается охлаждение.

B297AA11-D335-43FB-9FFF-99570C27E963.jpeg

7BD8072F-CDFA-45B8-8DCD-2996A503143E.jpeg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
20 минут назад, D2OLab сказал:

 

Решил попробовать mfc контроллер. На рынке они есть, но ценник на нужный в районе полуторы тысячи евро и выше. Благо весь ебей ими завален начиная с 30 баксов за бу и 100 баксов за новые. 

 

Но у меня есть некоторый ньюанс. Мне нужен контроллер откалиброванный на водород и с верхним массовым расходом 1-2 sccm (1-2 cm3 в мин). Его я планирую использовать на нижнем, в рамках однопроцентной погрешности, пределе в 20% от верхнего предела sccm, может и меньше, но там погрешность растет по расходу. Так вот ситуация в том, что в продаже полно mfc на Н2, но с достаточно высокими sccm, и полно приборов с низким sccm, но они откалибрована на другие газы. Не найти mfc на водород с sccm в 1-2.   

Вопрос такой, если я возьму контроллер откалиброванный на кислород, например с пределом 2 sccm, и буду его использовать в пределах 0,2-0,6 sccm на другие газы ( как универсальный контроллер), скажется ли это на погрешность в значительной степени или нет, учитывая столь мизерный расход? Я понимаю что когда используется контроллер на литры (slm) и десятки литров в мин. , то там погрешность будет очень высокая в итоговом напуске, а тут чрезвычайно маленький расход и я думаю, можно ли пренебречь тем что контроллер откалиброванный на один газ, а я использую другой? 

Любой РРГ можно использовать на любом газе, использовав коэффициенты пересчёта. Их легко отыщете в интернете... идея точной регулировки большого потока двумя регуляторами - большим и маленьким - правильная. А вот то, что у вас в процессе разогревается камера - и газ тоже, при постоянном расходе вызовет рост давления... Что у вас за процесс не знаю. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Если задача просто держать стабильно какой-то расход газа то вообще без разницы, на какой газ ваш регулятор был откалиброван.

На одной установке плазмохимического травления видел термостатированный бокс для РРГ. Если стабильность сильно критична, то можно таким заморочиться. Только у нас подобные штуки (для измерительной электроники) собирают на пельтье.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
2 часа назад, ev_berlin сказал:

коэффициенты пересчёта. Их легко отыщете в интернете...

Если не сложно, можно все же ссылку, или как эти коэф называются? К молекулярной массе имеют отношение? 
 

 

2 часа назад, ev_berlin сказал:

при постоянном расходе вызовет рост давления..

Есть шиберная задвижка между турбиком и камерой сф100 Vat. Ручная, регулируемая, ею буду дросселировать выхлоп. 
 

1 час назад, Alleus сказал:

Если задача просто держать стабильно какой-то расход газа то вообще без разницы,

А ведь вы правы. Я как то с этой стороны на это не посмотрел. 
 

 

1 час назад, Alleus сказал:

Только у нас подобные штуки (для измерительной электроники) собирают на пельтье.

Я не про электронный ррг говорил, а про микронатекатель стальной, что на фото. Термостабилизировать, предотвратив переход тепла с камеры на него. Охлаждать не его, а трубу на которой он сидит. 
 


 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
18 минут назад, D2OLab сказал:

Я не про электронный ррг говорил, а про микронатекатель стальной, что на фото. Термостабилизировать, предотвратив переход тепла с камеры на него. Охлаждать не его, а трубу на которой он сидит. 

Что бы предотвратить переход тепла достаточно взять сильфонный переходник или просто трубку по-длиннее между натекателем и камерой.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
15 часов назад, D2OLab сказал:

Если не сложно, можно все же ссылку, или как эти коэф называются? К молекулярной массе имеют отношение? 

имеется наверно ввиду теплопроводность газов. потому как в ррг расход измеряется косвенно, по разнице температуры газа до и после измерительного узла. если у вас не ррг, то и не стоит заморачиваться.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Кстати, кто-нибудь знает, можно ли mfc открыть принудительно, подав соотв. сигнал? Клапан там как правило нормально закрытый, но мне нужно будет отвакуумировать всю газовую магистраль. Закрытый клапан как бы мешает. Аналогичный вопрос с регулятором давления. Планирую использовать какой нибудь Aptech Ap 10** тысячной серии на пониженное давление. Возможно ли отвакуумировать линию, если стоит такой регулятор в разрыве, вакуумный порт стоит до редуктора давления, те со стороны его входа высокого давления. Т.е. со стороны низкого давления отсосет, или через редуктор такое не прокатит? Просто не знаю как они себя ведут в вакууме

4D2D6499-18EA-43C1-9585-FAFD1C012D18.jpeg

Изменено пользователем D2OLab

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

У хорибовских, с которыми я работал, да, была такая функция - продувка. Когда клапан открывается на полную и поток газа гораздо выше предела регулирования РРГ. И я ей иногда даже пользовался. Хотя обычно просто продуваю газовую линию на пределе регулирования или производительности насосов.

До какого давления собираетесь вакуумировать? Если идея откачать до какого-то форвакуума что бы сэкономить на газе для продувки - то нормальная идея, всё сработает.

Про редуктор не знаю, не пробовал. Просто продувал и всё.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
4 часа назад, Alleus сказал:

продуваю газовую линию на пределе

Газ очень дорогой. Это недопустимое расточительство будет. Да и балон микроскопический можно сказать, чуть ли не все на продувку уйдёт. 

 

4 часа назад, Alleus сказал:

До какого давления собираетесь вакуумировать? Если идея откачать до какого-то форвакуума что бы сэкономить на газе

А это как получится. Сама газовая линия подключена к высоковакуумной камере на медных уплотнения, и в принципе откачивать газовую магистраль можно прямо через камеру по дублирующей ветке в обход механического микронатекателя, а можно и от форлинии.  Сама газовая линия на vcr фитингах вся с металлическими уплотнениями, все клапаны с металлической мембраной. Никакой резины нигде нет. Насколько малый диаметр и количество углов и тд позволит отваккумировать эту газовую линию, настолько и отваккумирую. Может погрею ее немного, ленту намотав. Газ дорогой и чистый, дофига девяток после запятой)   Хз вобщем, нет опыта вакуумировать такие тонкие лабиринты. там 5-6 клапанов, редуктор, игольчатый клапан, 3 рессивера из нержи 0,75 л.
 

 

4 часа назад, Alleus сказал:

Когда клапан открывается на полную и поток газа гораздо выше предела регулирования РРГ

Это просто 5 вольт нужно подать на сигнальные контакты? У меня не будет блока управления, я просто хочу точным лабораторником управлять потоком ррг. Просто я не совсем пойму, я даю сигнал на ррг, он открывается, а откроется ли он если в системе вакуум? 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
9 часов назад, D2OLab сказал:

Газ очень дорогой

Тогда другой разговор. Кстати, в редукторах на отрезке высокого давления бывает клапан сброса. Линию качать по-дольше и обязательно прогревать. До высокого вакуума всё равно не откачаете, но если подумать: в линии, допустим, пару атмосфер. Сколько у вас там девяток нарисовано на баллоне? Станет понятно, до какого вакуума качать.

Продувать можно аргоном. Главный геморрой - согнать воду. Аргон откачать проблем нет. У нас так иногда делали. Откачать, напустить аргон, снова откачать. Повторить до достижения нужного результата. Получалось откачать до высокого вакуума без прогрева детекторы с кучей стэфа и прочего говна.

9 часов назад, D2OLab сказал:

Это просто 5 вольт нужно подать на сигнальные контакты?

Очевидно, зависит от модели РРГ. У тех, с которыми работал я, 15 В на определённый пин и всё. Есть РРГ с аналоговым управлением, есть с цифровым, есть и с тем и с другим. Смотрите документацию.

9 часов назад, D2OLab сказал:

Просто я не совсем пойму, я даю сигнал на ррг, он открывается, а откроется ли он если в системе вакуум? 

Я не понимаю в чём вопрос. Подаёте напряжение, клапан открывается. Диапазон допустимых давлений указан в документации. Есть минимальная допустимая разность давлений, при которой РРГ может что-то регулировать, но к продувке это не имеет отношения.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
19 часов назад, D2OLab сказал:

Кстати, кто-нибудь знает, можно ли mfc открыть принудительно, подав соотв. сигнал? Клапан там как правило нормально закрытый, но мне нужно будет отвакуумировать всю газовую магистраль. Закрытый клапан как бы мешает. Аналогичный вопрос с регулятором давления. Планирую использовать какой нибудь Aptech Ap 10** тысячной серии на пониженное давление. Возможно ли отвакуумировать линию, если стоит такой регулятор в разрыве, вакуумный порт стоит до редуктора давления, те со стороны его входа высокого давления. Т.е. со стороны низкого давления отсосет, или через редуктор такое не прокатит? Просто не знаю как они себя ведут в вакууме

Просто закройте баллон и дайте максимальный расход на РРГ. Магистраль отвакуумируете магистраль, заодно проверите на герметичность. Если расход не станет равен нулю - магистраль подтекает.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
Авторизация  

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.