Перейти к публикации

Изменен п. 12 раздела "Другие ограничения", просьба ознакомиться. Расшифровка и пояснения - тут

miriam

ВЧ разряд в вакууме

Рекомендованные сообщения

Подскажите,может кто то работал с ВЧ разрядом на установках- травление и т.д.Интересуют схемы подключения ВЧ генератора через согласующее устройство к электродам(разряд емкостной).Да и конструкция самих электродов.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
1 час назад, miriam сказал:

Подскажите,может кто то работал с ВЧ разрядом на установках- травление и т.д.Интересуют схемы подключения ВЧ генератора через согласующее устройство к электродам(разряд емкостной).Да и конструкция самих электродов.

Можно по разному подключать. Конкретика нужна. Что за установка, для каких давлений, на каких частотах, для каких газов?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Это не совсем технологическая установка,это разрядная камера больше для изучения ВЧ разряда.Задача-добиться устойчивого заполнения ВЧ плазмой межэлектродного пространства.Генератор ВЧ с перестраиваемым задающим каскадом ,от 1 до 30 МГц,мощность 1,8 кВт мах.На выходе генератора согласующее устройство,согласует нагрузки от 10 до 1200 Ом.Газ-лазерная смесь Со2+N2+He+Xe,давление ~50 Торр

Ну а пробывать ,конечно ,на разрешенных частотах- 13,56 и 27,12 мГц

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
51 минуту назад, miriam сказал:

Это не совсем технологическая установка,это разрядная камера больше для изучения ВЧ разряда.Задача-добиться устойчивого заполнения ВЧ плазмой межэлектродного пространства.Генератор ВЧ с перестраиваемым задающим каскадом ,от 1 до 30 МГц,мощность 1,8 кВт мах.На выходе генератора согласующее устройство,согласует нагрузки от 10 до 1200 Ом.Газ-лазерная смесь Со2+N2+He+Xe,давление ~50 Торр

Размеры камеры какие? Давление высокое, потому и трудно будет заполнять разрядом большие зазоры...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
1 час назад, miriam сказал:

давление ~50 Торр

Никаких шансов.

1 час назад, miriam сказал:

На выходе генератора согласующее устройство,согласует нагрузки от 10 до 1200 Ом

Схема согласующего есть? Их 3 вида и варианты...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Длинна электродов 530 мм,ширина 6 мм.Сама камера,соответственно,немного больше.

Схема на согласующее устройство есть,если не ошибаюсь,П-контур.

Почему ни каких шансов?

Это + - стандартное давление в разрядной камере ВЧ лазера на СО2

Зазор между электродов 6,1 мм

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
1 час назад, miriam сказал:

Почему ни каких шансов?

Это + - стандартное давление в разрядной камере ВЧ лазера на СО2

Зазор между электродов 6,1 мм

Ой ну если 6 мм зазор...тады ой. А какая длина свободного пробега молекул  при 50 торр?  1-2 мм?

1 час назад, miriam сказал:

если не ошибаюсь,П-контур.

В этом П-контуре что постоянное, а что переменное? И от 10 до 1200 Ом. активного сопротивления. При какой частоте?

Зачем такой диапазон?

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
8 часов назад, miriam сказал:

Это + - стандартное давление в разрядной камере ВЧ лазера на СО2

Зазор между электродов

Нормально все будет заполняться. И гореть будет легко. В П-контуре два конденсатора переменные, а индуктивность постоянная?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
1 час назад, ev_berlin сказал:

В П-контуре два конденсатора переменные, а индуктивность постоянная?

Достаточно выходной переменный.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Сейчас буду искать схему СУ б бумагах документации

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

По поводу диапазона-если Вы имеете ввиду диапазон частот,то просто есть такой ВЧ генератор в наличии.Покупать на 40 или 81 мгц- очень дорогие с такой мощностью.

Если о сопротивлении-то СУ тоже к нему родное есть.

Кстати,из литературы,импеданс до пробоя и поджига разряда порядка 1800 Ом,после поджига около 200 Ом.

Это ощутимая проблема в компактных СО2 лазерах,в которых нет автоматических СУ.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
2 часа назад, miriam сказал:

Это ощутимая проблема в компактных СО2 лазерах,в которых нет автоматических СУ

Так купите автоматическое. В чем проблема?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Я имею ввиду в серийно выпускаемых лазерах Для наших целей можно и ручку покрутить

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

77.png

Такая вот схема согласующего.Выход из него есть для нагрузки,питающейся симметричным ВЧ напряжением,и второй обычный коаксиальный,для нагрузок с питанием не симметричным напряжением

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
5 часов назад, miriam сказал:

Такая вот схема согласующего.

Cудя по схеме - прибору лет 60...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Не,гораздо моложе,40:classic_blink:

Зато из таких железяк,что точно не спалишь

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Прошу совета.

Есть нестерпимое желание (и некоторая практическая потребность) поэкспериментировать с индуктивно связанной плазмой. В основном - для обработки поверхностей перед магнетронным напылением. Есть возможность приобрести блок питания на 13,56 МГц со встроенным согласующим устройством.

Кто нибудь работал с такими?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
16 часов назад, Alleus сказал:

Есть нестерпимое желание (и некоторая практическая потребность) поэкспериментировать с индуктивно связанной плазмой

Вам скучно и у Вас лишние деньги?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
1 час назад, mirs сказал:

Вам скучно и у Вас лишние деньги? 

 

Есть ряд специфических задач. Например, внезапно выяснилось, что на нашей планете утеряна технология изготовления золочёной проволоки. Ряд граждан это сильно огорчает.

Денег слишком мало, что бы просто купить нужный тех. процесс. Но достаточно, что бы купить какой-нибудь блок питания. И есть достаточно всякого вакуумного оборудования и доступа к производственным мощностям института.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
1 час назад, Alleus сказал:

Например, внезапно выяснилось, что на нашей планете утеряна технология изготовления золочёной проволоки

Вольфрам?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
4 минуты назад, mirs сказал:

Вольфрам?

И вольфрамовой, и алюминиевой, и титановой. Раньше разную золотили. А теперь никакую. С приемлемым качеством, по крайней мере.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
59 минут назад, Alleus сказал:

Раньше разную золотили. А теперь никакую

ИМХО ICP плазма туда никак не лезет.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
16 минут назад, mirs сказал:

ИМХО ICP плазма туда никак не лезет.

ИМХО здесь оптимальным вариантом является обращенный цилиндрический магнетрон. Сделать такой не сложно.

https://www.lesker.com/newweb/deposition_sources/isofluxsputteringsources.cfm

https://www.isofluxinc.com/technology

Изменено пользователем Vladimir Savenko

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
15 минут назад, Vladimir Savenko сказал:

обращенный цилиндрический магнетрон

Учитывая золотую мишеньку - узкий-узкий.

Для чистки - поджечь разряд на самой проволоке.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
1 минуту назад, mirs сказал:

Учитывая золотую мишеньку - узкий-узкий.

Учитывая, что практически все, что не легло на проволоку перераспыляется на саму мишень можно не мелочиться... 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.


×