Перейти к содержанию
staffnz

Режимы для Нитрид Титана

Рекомендуемые сообщения

Здравствуйте, вопрос по нитриду титана.

1. До какого вакуума нужно откачивать камеру, чтобы кислород не мешал реакции TiN? 

2. Подходит ли атмосфера смесь аргон-азот 50/50, четыре девятки? 

Благодарю. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
28 минут назад, staffnz сказал:

1. До какого вакуума нужно откачивать камеру, чтобы кислород не мешал реакции TiN? 

2. Подходит ли атмосфера смесь аргон-азот 50/50, четыре девятки? 

1 .Качать до 10е-3 Па, ну хотя бы до 2-3х10е-2 Па.

2. Для чего-то подходит, для чего-то может и нет.  Каким источником напыляете TiN? и что вам надо: упрочнять, декорация или еще чего?

Изменено пользователем ZAV.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Спасибо. Источник - магнетрон. Цель декоративная. Откачиваю до 1х10е-2, потом напускаю смесь Аргон-Азот. Цвет серебристый получается, как простой титан. Реакции с азотом не происходит, может азот надо разложить большим потенциалом? Или нужно греть поверхность на которую напыляю?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А на что напыляешь?

Какое расстояние от изделия до магнетрона?

Как готовишь смесь?

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
3 часа назад, staffnz сказал:

 Источник - магнетрон. Цель декоративная.

Если декоративная - то важен цвет и адгезия. Если греть - тогда возможно и получится "золотой цвет", а не зелено-коричневый.

Слой чистого титана сначала надо, для "зеркалки", а потом уже нитрид. Возможно еще для адгезии TiO2 предварительно пыльнуть (зависит от подложки).

На "холодную" золотой цвет тоже можно получить, но это сложнее и простой смесью газов, думаю, не обойдется.

Для повторяемости цвета желательно контролировать и управлять степенью реакционности процесса и толщину покрытия выдерживать.

3 часа назад, staffnz сказал:

Реакции с азотом не происходит, может азот надо разложить большим потенциалом?

А на что Вы его собрались разложить? на четвертинка + половинка или как?

И где планируется этот "большой потенциал"?, если на подложке - то там около 100 вольт надо,для TiN (хотя можно немного и варьировать). А если подложка диэлектрик - то вообще ничего не подашь.

Изменено пользователем ZAV.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
8 часов назад, staffnz сказал:

2. Подходит ли атмосфера смесь аргон-азот 50/50, четыре девятки? 

Если обычный порошок магнетрон или обычная дуга то будет чистый серый металл.

7 часов назад, ZAV. сказал:

2. Для чего-то подходит, для чего-то может и нет.

Для нитрида смесь 50:50 аргон-азот не подходит, Вы не в теме.

1 час назад, ZAV. сказал:

Если греть - тогда возможно и получится "золотой цвет", а не зелено-коричневый.

За счет чего?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Спасибо всем за участие.  По порядку. 

14.06.2019 в 16:14, ev_berlin сказал:

А на что напыляешь?

На нержавейку. 

 

14.06.2019 в 16:14, ev_berlin сказал:

Какое расстояние от изделия до магнетрона?

5-10 см

 

14.06.2019 в 16:14, ev_berlin сказал:

Как готовишь смесь?

Смесь заводская 50/50 Аргон/Азот. 0.9999

22 часа назад, ZAV. сказал:

Если греть - тогда возможно и получится

Какой диапазон температур должен быть? 

22 часа назад, ZAV. сказал:

Слой чистого титана сначала надо, для "зеркалки"

Значит нужно с двух каналов подавать газы? Сначала Аргон, пылить чистый титан, а после напускать Азот и пылить уже TiN. 

22 часа назад, ZAV. сказал:

Возможно еще для адгезии TiO2 предварительно пыльнуть (зависит от подложки).

TiO2 обеспечивает адгезию? Его как получить, в плохом вакууме пылить? 

22 часа назад, ZAV. сказал:

На "холодную" золотой цвет тоже можно получить, но это сложнее и простой смесью газов, думаю, не обойдется.

А какую смесь газов предлагаете или какой способ? 

22 часа назад, ZAV. сказал:

Для повторяемости цвета желательно контролировать и управлять степенью реакционности процесса и толщину покрытия выдерживать.

А что отвечает за реакционность процесса? 

22 часа назад, ZAV. сказал:

А на что Вы его собрались разложить? на четвертинка + половинка или как?

N2 на N и N. Или разложение из-за температуры в плазме происходит?

21 час назад, mirs сказал:

Для нитрида смесь 50:50 аргон-азот не подходит, Вы не в теме.

А какой метод рекомендуете? Нужно управлять соотношением газов? 

 

Большое спасибо за процесс обсуждения. 

 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
2 часа назад, staffnz сказал:

TiO2 обеспечивает адгезию? Его как получить, в плохом вакууме пылить? 

Вам не надо.  Оксид нужен, если напылять на стекло.

2 часа назад, staffnz сказал:

А какой метод рекомендуете?

А какой у вас есть?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
10 минут назад, mirs сказал:

какой у вас есть?

Есть магнетронное напыление. Хотел сказать, какой режим посоветуете? Раздельно напускать газы, греть подложку, какие-то ещё особенности? Откачивать до какого вакуума? 

Почему нет золотого или даже зеленовато-фиолетового? 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Почему-то не получается....

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
12 часов назад, staffnz сказал:

Почему нет золотого или даже зеленовато-фиолетового? 

Нет навыков. И зависит от того, кто и где изготавливал магнетрон.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
12 часов назад, staffnz сказал:

Почему нет золотого или даже зеленовато-фиолетового

Азот молекулярный до атомарного разлагает плазма. Магнетронного разряда.

Заводская смесь вам очевидно не подходит. Ставим два РРГ. Аргон ФИКСИРУЕМ, азот подаём относительно него. Установки опишите немного. Размеры, размеры магнетрона, параметры разряда... Чем качаете и на что напыляете... Иначе понять, почему нет нитрида - нельзя...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
16 минут назад, ev_berlin сказал:

Азот молекулярный до атомарного разлагает плазма. Магнетронного разряда.

Подозреваю мизерный ток магнетрона из которого летит нейтральный пар.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Проще на дуговое перейти и технологичней , для нитрида титана :

Ложки ТиН.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Это каким образом было закрепление на оснастке? Совсем не видно следов.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
4 часа назад, Bulat сказал:

Проще на дуговое перейти и технологичней , для нитрида титана :

Капли собирать?

Если дуговое уже есть, то да. А если есть 

только кривой магнетрон из какого нибудь Томска, тогда неизвестно, что проще.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
9 минут назад, mirs сказал:

Капли собирать?

Так их не видно , не вооружённым глазом... и языком не ощущаются ;)  ,

а шероховатость поверхности и так повторится !

IMG_9888.JPG

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

С трёх испарителей работали на вилках-ложках?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
8 часов назад, ev_berlin сказал:

Ставим два РРГ.

Если есть двухканальная СНА-2 https://akadempribor.prom.ua/p469637619-sistema-napuska-gazov.html

Такой можно регулировать подачу газа? 

8 часов назад, ev_berlin сказал:

Установки опишите немного. Размеры, размеры магнетрона, параметры разряда...

Установка не моя, на днях узнаю параметры более точно. Диаметр магнетрона 55 мм. 

8 часов назад, ev_berlin сказал:

Чем качаете и на что напыляете...

Качаю сначала форвакуумным, потом турбомолекулярным насосом. Откачиваю до 1*10^-2Па . Согласен, что нужно лучше откачивать до 3*10^-3 Па думаю получится.  Мишень титановая, распыляется в атмосфере Аргон/Азот 50/50 класс 4. 

8 часов назад, mirs сказал:

Подозреваю мизерный ток магнетрона из которого летит нейтральный пар.

Какой ток уточню, очень может быть. А как сделать не нейтральный пар, как его активировать? Нужна реакция между Ti и N. Чем она будет вызывана?

 

Спасибо.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
16.06.2019 в 14:56, Bulat сказал:

Проще на дуговое перейти и технологичней , для нитрида титана :

Это на воздухе столовые приборы металлизировали? И покрытие держится отлично? Интересно, но просто уже есть установка магнетронного напыления их хочется на ней освоить технологию.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Только что, staffnz сказал:

Диаметр магнетрона 55 мм. 

Это труба 55 мм диаметром и длиной типа полметра и больше.

Или диск с плоским катодом диаметром 55 мм?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
1 минуту назад, mirs сказал:

Или диск с плоским катодом диаметром 55 мм?

Верно, диск плоский с диаметром 55мм, над ним горит кольцо плазмы. Мишень находится на 50мм, или на 100мм от него. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
Только что, staffnz сказал:

диск плоский с диаметром 55мм, над ним горит кольцо плазмы.

Магнетрон совсем игрушечный, и 55 мм это очень и очень мало..

Теоретически может работать на чистом азоте, если взять паяльник и сделать новый источник питания.

Вопросы по балансу магнитного поля магнетрона как я понимаю задавать бесполезно.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
1 минуту назад, mirs сказал:

Магнетрон совсем игрушечный, и 55 мм это очень и очень мало..

Теоретически может работать на чистом азоте, если взять паяльник и сделать новый источник питания.

Малый диаметр? Нужен новый источник с большими токами? Какой порядок токов нужен? И что физически нужно реализовать, бОльшую мощность в плазме иметь, чтобы разлагать азот? 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
35 минут назад, staffnz сказал:

Это на воздухе столовые приборы металлизировали? И покрытие держится отлично?

Цвет, не понравился ? Зубами не оторвёте ! Свой цвет покажите ?

Вместо воздуха используем Азот-6,0 имеется сертификат !

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.