Перейти к содержанию
Romanov_PVD

Магнетронное Распыление ферромагнетика с выносным центральным анодом объединять ли с землёй или эффективнее будет развязать от камеры +

Рекомендуемые сообщения

Добрый день.

Уважаемые коллеги,

возникли проблемы при распылении магнетронным способом ферромагнетика, кожуха и экраны запыляются - поле искажается, разряд гореть перестает, возникла дилемма. как и чем помочь гореть разряду, 

подключили смещение на + помогло, конечно, но общ. мощность МРС упала, при одновременной работе 4-ёх ист. пит. + смещение.

Придумали сделать центральный внешний анод, Как же его лучше подключать отдельно от земли или объединить, какие плюсы и минусы?

 

 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Задача не слишком понятна. Можно рисунок?

Невероятно, что тонкие напыленные пленки настолько искажают магнитное поле, что разряд не горит. Много вопросов.

материал и толщина мишени, Размеры магнетрона, состав магнитов, Параметры БП

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Задача получить оболочковое покрытие толщиной 350 мкм на алюминиевой трубке из сплава ПХ25Ю6 (порошковый жаропрочный), 

толщина мишени ПХ25Ю6 8 мм + 2 мм Медное основание М1. Размеры МРС 400Х160 мм, магниты NdFeB (марки N50M), процесс ведём с 4-ех МРС по 3 кВт каждый, спустя сутки распыления, суммарная мощность упала и пришлось пылить с 1 МРС и потенциал смещения сделать положительным. Хотим при помощи центрального анода создать направление потока плазмы в нужном направлении, остальную часть камеры закрыть развязанными по электричеству с камерой экранами.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Понятно. Длина и диаметр трубки? Длина примерно понятна. Трубка у вас не плавится?

Направление потока плазмы вы никаким анодом задать не сможете. Плазму электродами не отклонить...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Трубка пока не плавится, играем с расстоянием от мишени до подложки, сокращаем его, чтобы увеличить скорость осаждения.

с 4-ех МРС, при суммарной мощности вложения 800 кВт ч не удалось набрать толщину 350 мкм, получилось около 200 мкм.

Думаем усиливаться еще 2 МРС, чтобы общее кол-во было 6 МРС.

Проблема в получившемся покрытии следующая, образуются продольные трещины, как правило, связанные с качеством поверхности трубок, на которые наносим покрытие.

Диаметр алюминиевой трубки 7,5 мм высота 300 мм.

Расстояние от образца до мишени 100 мм.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.