Перейти к публикации

Изменен п. 12 раздела "Другие ограничения", просьба ознакомиться. Расшифровка и пояснения - тут

Hufman

УВН-75. "Прыгают" показания свидетеля во время напыления резистивного материала

Рекомендованные сообщения

Здравствуйте.

Очередной раз столкнулись с такой проблемой. Во время напыления резистивного материала на установке УВН-75 прыгают показания сопротивления на свидетеле. Наиболее вероятно что сопротивление  скачет от того что на контактах свидетеля "наводится" некоторое напряжение с магнетрона.

     Попытаюсь описать конструкцию магнетрона (если что потом фото приложу). Имеются круглые мишенедержатель с мишенью на которрые подаётся высокое напряжение ( примерно 1100В. + или _ не помню). По периметру мишени на некотором расстоянии мишени располагается вальфрамовый катод ( Регулируется ток катода ). Так же где то в кожухе спрятаны электромагниты ( ток тоже регулируется ).

    Свидетель же на ставится на карусель и крепится прижимными пластинами, которые прикручены через изоляторы к карусели.

    Раньше проблема решалась проверкой мегаомметром изоляторов катода, мишенедержателя и прижимных пластин свидетеля и всё потом было нормально. Сейчас же такие манипуляции не помогли ( Изоляторы в норме ( при атмосферном давлении)).

Может быть здесь найдем решение данной проблемы?)

 

Изменено пользователем Hufman

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

У вас не магнетрон, а ИПР. Магнетрон не НУЖДАЕТСЯ в накальным катоде. 

Со свидетеля у вас идут контакты через группу скользящих контактов через кольца. В этом узле могут быть неуверенные контакты. Проверьте этот узел для начала. Смажьте. Проверьте, не стёрлись ли контакты, не замыкают ли кольца между собой. Потом будем смотреть на "помехи" от разряда. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Здравствуйте.

Очередной раз столкнулись с проблемой. Очень необходима документация на установку УВН-75-П1. 

Может есть у кого описание и чертежи на ИПР.

    " Попытаюсь описать конструкцию магнетрона (если что потом фото приложу). Имеются круглые мишенедержатель с мишенью на которрые подаётся высокое напряжение ( примерно 1100В. + или _ не помню). По периметру мишени на некотором расстоянии мишени располагается вальфрамовый катод ( Регулируется ток катода ). Так же где то в кожухе спрятаны электромагниты ( ток тоже регулируется )."

   Как раз этот самый вольфрамовый катод крепится на изоляторах так скажем в алюминиевом барабане, собственно и необходимо описание этого "барабана", либо полностью всего узла.

Заранее спасибо.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
25 февраля 2019 г. в 13:48, mihail8585 сказал:

    " Попытаюсь описать конструкцию магнетрона (если что потом фото приложу). Имеются круглые мишенедержатель с мишенью на которрые подаётся высокое напряжение ( примерно 1100В. + или _ не помню). По периметру мишени на некотором расстоянии мишени располагается вальфрамовый катод ( Регулируется ток катода ). Так же где то в кожухе спрятаны электромагниты ( ток тоже регулируется )."

Это не магнетрон! Вот заменить это чудовище на настоящий магнетрон - вполне стоит, ИМХО. 

На мишень ВСЕГДА подаётся минус. И напряжение там  побольше должно быть. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Я в курсе, что это не магнетрон. У вас есть конкретные предложения на что его заменить?

Меня собственно интересует документация по установке либо по конкретному источнику.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Вот собственно на этом чудовище мы и работаем не один десяток лет

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
23 часа назад, mihail8585 сказал:

Вот собственно на этом чудовище мы и работаем не один десяток лет

Ну так и на магнетрон и поменять. Равного размера. 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
37 минут назад, ev_berlin сказал:

Ну так и на магнетрон и поменять. Равного размера. 

Да, только одно но, в куске металла толщиной 20-30мм отверстие проковырять диаметром миллиметров 50-60 под магнетрон

 

По моему Эсто-вакуум модернизацией раньше занималось.

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
17 часов назад, mihail8585 сказал:

Да, только одно но, в куске металла толщиной 20-30мм отверстие проковырять диаметром миллиметров 50-60 под магнетрон

Вначале сверление, а потом прямошлифовальная машинка.. Если проблема только в этом.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

А внутренние магнетроны уже запретили? Подвод/отвод воды отдельно, минус отдельно...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
20 часов назад, mihail8585 сказал:

По моему Эсто-вакуум модернизацией раньше занималось.

Ну, стоит поискать ещё... Многие могут делать магнетроны на заказ. Ничего особо хитрого в них нет. Какой материал напыляете? Какой номинал? 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
3 часа назад, mirs сказал:

Вначале сверление, а потом прямошлифовальная машинка.. Если проблема только в этом.

Да проблем особо и нет только одна, в помещении соблюдается определенный класс частоты, установку только выносить.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

 

 

1 час назад, mihail8585 сказал:

Да проблем особо и нет только одна, в помещении соблюдается определенный класс частоты, установку только выносить.

И нет ни одного свободного kf или другого фланца в камере на Ду 25, или даже 16?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
9 часов назад, mihail8585 сказал:

Да проблем особо и нет только одна, в помещении соблюдается определенный класс частоты, установку только выносить.

Так вместо ИПР и поставить. Не надо ничего сверлить...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

По моим измерениям, при проходе свидетеля над мишенью магнетрона, на зажимах измерителя (Щ300) появляется наводка в виде постоянного напряжения до 4-6 в., при подходе и входе в зону плазмы положительного, при выходе - отрицательного (впрочем это зависит от конструкции, может быть и наоборот, главное - полярность напряжения при выходе обратная той, что при входе) . В дальней от магнетрона точки траектории движения свидетеля наводка тоже есть, но гораздо меньше.

Вывод: наводимое напряжение обусловлено градиентом плотности заряженных ионов в зоне нахождения свидетеля.

Отсюда методы повышения точности измерения (пока только предположения, ещё не проверены):

1. Уменьшение размеров конструкции свидетеля

2. Электростатическое экранирование конструкции свидетеля

3. Проведение измерений в определенной точке траектории перемещения свидетеля

4. Отключение питания плазмообразующих устройств на время измерения   

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах
14 часов назад, Игорь_40 сказал:

3. Проведение измерений в определенной точке траектории перемещения свидетеля

Единственно верное решение. Ну и наводку на измерительные цепи минимизируйте

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.


×