Перейти к содержанию
Timofeu

Напыление диоксида кремния электронно-лучевой пушкой.

Рекомендуемые сообщения

Добрый день!

Подскажите, может кто сталкивался с напылением SiO2 пушкой?

Опыт напыления магнетроном есть, возник вопрос с пушкой.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А что сложного то? Магнетроном КВАРЦ? ( РФ , что ли? или ионным источником с кремнивай мишени?) С пушки пылится влет. не гнать тока, а то тигель пропалишь.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

кварц (обломки кварцевого стекла) измельчить до состояния частиц, как у крупной соли

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Интересуют нюансы напыления, пылить с тигля или без, если с тигля, то какого? Либо просто загружать навеску SiO2 без использования тигля.

Распыление мишени кремния с добавлением кислорода.

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Водоохлаждаемый медный тигель.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Timofeu</b>,

Электронным лучом на небольшом напряжении. Разогревать потихоньку. Выйдя "на режим", включить сканирование. Кварц расплавить не получится.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Timofeu, Я пылю, сегодня вот тоже...

Насыпается в тигель и греется потихоньку...

У мну режим: 6 кВ, и + - 30 мА, скорость 4 Å/сек.

Ток по скорости.

Изменено пользователем alekseyka77

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>alekseyka77</b>, какой тигель используете?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Timofeu</b>,

Да вроде любой можно? С водяным охлаждением, естественно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Timofeu, кварц пылят напрямую из медного водоохлаждаемого тигля, как правило засыпая тигель полностью кварцевой крошкой.

Размер крошки на ваше усмотрение, но как правило 3-5 мм, можно, как тут отмечали, и поколоть кварцевое стекло.

Обычно распыляют следующим образом: включают вращение тигля и сканирование луча, чтобы выработка кварца была равномерной.

Мощностью луча (ток, напряжение), скоростью вращения тигля и сканированием добиваются требуемой скорости роста покрытия и, отчасти, распределения вещества. Скорость роста покрытия от 2 Å/сек.

Не работайте на больших токах (более 100мА), иначе кварц начнёт стрелять или хуже того, возможно отклонение электронного луча - прожжёте камеру... ну не камеру, но экран точно.

Желательно наличие ионного ассистирования и подача небольшого количества кислорода, но и без них можно обойтись, но тогда будут проблемы с попаданием по длине волны, если пылите оптику.

Также возможно распыление кварца из небольших таблеток (спрессованный кварцевый порошок) с использованием молибденовых вкладышей в многотигельных пушках.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.