Перейти к содержанию
Авторизация  
miriam

Установка вакуумного напыления УРМЗ 279.011

Рекомендуемые сообщения

Приветствую. По случаю достались две установки УРМЗ 279.011.Не разграбленные,нет азотных питателей и системы оптического контроля.Камеры диам.500 высотой 700 мм.Три резистивных и один электронно-лучевой испарители.Подъем колпака и отвод в сторону гидравликой.Есть ЗИП и паспорта со всеми схемами.Вопрос,конечно,наивный,но все же-какова перспектива их коммерческого использования?Какова в принципе возможность "поднятия "установок из такого,давно не работающего состояния-шланги,прокладки,масла и еще,наверное,сотня "камней" своими силами,при отсутствии опыта работы с ВУ? Буду признателен за Ваши высказывания и мнения.

IMG_20180826_134004117.jpg  IMG_20180826_134011907.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
post-20854-048034200_1535284064_thumb.jpgpost-20854-058750800_1535284127_thumb.jpgpost-20854-058688800_1535284221_thumb.jpgpost-20854-009333200_1535284326_thumb.jpgpost-20854-014667100_1535284405_thumb.jpgpost-20854-024489500_1535284480_thumb.jpgpost-20854-092123200_1535284543_thumb.jpgpost-20854-095845700_1535284604_thumb.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
post-20854-094127700_1535285132_thumb.jpgpost-20854-057697600_1535285187_thumb.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Всё можно поднять, особенно если ничего не снесли в утиль.

Проверить состояние резинового сильфона между клапанами - фото 4 и в высоковакуумном затворе.

По случаю достались - привести в рабочее состоянием - толкнуть дальше.

Желаю удачи

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Установка на первый взгляд - комплектная. В умелых руках восстановить можно быстро. Вопрос - зачем? Функционал у таких установок не слишком широкий...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Доброго дня, уважаемые читатели.

Хотел обратиться к Вам за помощью, касательно установки для вакуумного напыления тонких пленок УРМ3.279.011.

Она была спасена из рук не хороших людей, которые хотели сдать её в лом, но к сожалению не вся.

В наличии остался каркас, вакуумные затворы-клапаны, паромасляный насос (предположительно Н 250/2500), колпак с неполным набором подколпачного устройства, и работающая система гидропривода колпака.

Токовводная часть отсутствует.

Азотная часть отсутствует.

Форвакуумная магистраль и насос отсутствуют.

Блоки оптического контроля и автоматизации отсутствуют.

Электронно-лучевой испаритель отсутствует (насколько я смог понять).

 

Пользование предполагается в «ручном» режиме, для нанесения тонких пленок магния фтористого.

Дирекция поставила задача «воскресить» этот лом. Вместо родного форвакуумника был выдан АВЗ-20Д 80ых годов

Опыта работы, а тем более сервиса вакустановок нет, по образованию я инженер-химик, по факту присутствовал при обучении и раздаче дипломов, 10 лет после выпуска трудился мало того, что не по специальности, но и услышанные краем уха знания применить было некуда.

Из понимания по теме книга Иванова "Вакуумная техника", прочитанная документация и бесконечные ветки форумов.

Так же прикладываю документацию к установке, которую смог нарыть. Miriam  заморочился, от фотографировал несколько пачек документов и прислал мне, после чего я по возможности точно привел это в божеский вид, чем, собственно, и хочу поделится с общественностью (мало ли, вдруг кому тоже перепадёт такое «счастье», а тут уже документы есть).

Ссылка на документацию

И не много фотокарточек, для затравки.

photo_2021-05-12_13-52-23.jpg photo_2021-05-12_13-52-43.jpg photo_2021-05-12_13-52-45.jpg 

photo_2021-05-12_13-53-06.jpg photo_2021-05-12_13-53-19.jpg photo_2021-05-12_13-53-24.jpg 

photo_2021-05-12_13-53-26.jpg photo_2021-05-12_13-53-27.jpg photo_2021-05-12_13-53-29.jpg 

photo_2021-05-12_13-18-30.jpg photo_2021-05-12_13-18-37.jpg photo_2021-05-12_13-51-51.jpg 

photo_2021-05-12_13-51-56.jpg photo_2021-05-12_13-51-58.jpg photo_2021-05-12_13-52-17.jpg 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Тяжелый случай.

Фторид магния куда, на что, и каким методом?

Вакуумную систему восстановить можно. Напылять оптические покрытия без контроля напыления сложно. А оптический контроль исчез.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
2 часа назад, ev_berlin сказал:

Фторид магния куда, на что, и каким методом?

Приветствую, как я понял, подразумевается пылить на стекло, с помощью резистивных испарителей, НО

Это не моего ума дело.

Мне поручено восстановить вакуумную часть, "чтоб сосало и держало".
ЗЫ. Ну а вдруг тема поднимется, может у кого и есть неиспользуемый блок опт.контроля. 

Или, опять же, если всё это нецелесообразно, то хотя бы будем об этом знать.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
8 минут назад, forZe_Kir сказал:

Мне поручено восстановить вакуумную часть, "чтоб сосало и держало".

Это проще простого.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Не сомневаюсь, для специалиста это скорее всего не задача.
Я же 2 месяца назад впервые это увидел и начал читать/искать.

Решил начинать с начала, а именно с форвакуума.
Как я и писал, на роль форвакуумника выдали АВЗ-20Д откуда то со склада 1987 г.в. (сейчас точно посмотрел на шильдике).

Обслуживался, вероятно, последний раз ещё при Союзе. Предшественники, из числа таких же как я аппаратчиков (забыл написать, работаем на предприятии занимающемся производством люминофоров), не обслужив и только лишь перезалив масло начали его нещадно гонять(внутреннее состояние после снятия маслоотбойника видно на фото, там "земля").
Как итог сама установка изнутри была загажена маслом, все клапаны, проводы и лампы.

Я это дело раскрутил, отмыл и поставил на место некоторую часть.

Из Иванова вычитал о необходимости организации на магистрали от входа форвакуумника до подсоединения непосредственно к установке устройств (кусок черняги раньше соединял через вакуумный шланг установку и ФВН).
Примерно нарисовал, как я это себе смог представить, и вот бегаю, ищу кто сможет покритиковать это "набросок на салфетке", что добавить, что убавить, где покупать, куда ходить, куда не   ходить.

photo_2021-05-12_15-18-30.jpg форвак магистраль-1.jpg 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)
1 час назад, forZe_Kir сказал:

Блоки оптического контроля и автоматизации отсутствуют.

Электронно-лучевой испаритель отсутствует (насколько я смог понять).

ЭЛИ там не было, судя по всему.

Для распыления использовался термический метод с помощью лодочки. Для фторида магния этого достаточно, материал лодочки - вольфрам.

Низковольтный трансформатор вроде на месте - под установкой идут толстые медные токовводы-  это к медным держателям лодочки внутри камеры.

 

Простой оптический контроль можно собрать на коленке из диодного лазера, пары линз, фотодиода и вольтметра. Меняя цвет лазера (синий, зелёный, красный) можно несколько расширить возможности.

Изменено пользователем mtimur

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
4 минуты назад, mtimur сказал:

Низковольтный трансформатор вроде на месте - под установкой идут толстые медные токовводы-  это к медным держателям лодочки внутри камеры.

Так точно, это уже новодел. Старый сдали в лом "лутеры". Не запитан. 
Вот это, я так понимаю управление к трансформатору?

 

17 часов назад, mtimur сказал:

Простой оптический контроль можно собрать на коленке из диодного лазера, пары линз, фотодиода и вольтметра.

Для неграмотных, пожалуйста, назовите литературу где почитать об этом.

photo_2021-05-13_09-18-58.jpg 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
5 часов назад, forZe_Kir сказал:

Для неграмотных, пожалуйста, назовите литературу где почитать об этом.

Там ничего сложного по механике нет, главное всё жёстко закрепить и правильно отъюстировать.

Да и физика процесса для одного слоя описывается школьным курсом физики, раздел интерференция света в тонких плёнках.

Более углублённый вариант: Э.С Путилин Оптические покрытия

2005726051_.thumb.png.fb7127f8e0bd523c68d4bca1a2c0a3f7.png

6 часов назад, forZe_Kir сказал:

Вот это, я так понимаю управление к трансформатору?

Возможно, но надо смотреть по схемам, какое напряжение надо подавать на понимающий трансформатор, т.к. выходное на лодочку около 5 В и силой тока сотни ампер.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
16 минут назад, mtimur сказал:

Более углублённый вариант: Э.С Путилин Оптические покрытия

Спасибо, ушёл читать, за неимением других направлений для действий.
Старожилы молчат, то ли заняты все, то ли связываться не хотят...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
3 часа назад, forZe_Kir сказал:

то ли связываться не хотят...

Слово вспомнил из фентези... "некромантия".

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
В 26.08.2018 в 14:41, miriam сказал:

Вопрос,конечно,наивный,но все же-какова перспектива их коммерческого использования?Какова в принципе возможность "поднятия "установок из такого,давно не работающего состояния-шланги,прокладки,масла и еще,наверное,сотня "камней" своими силами,при отсутствии опыта работы с ВУ? Буду признателен за Ваши высказывания и мнения.

Немного цепанула зависть. Установка по виду, очень в неплохом состоянии... По Фоткам все есть. Пушка на таких предусмотрена была, но похоже, первая снимается. резинки менять. Практически все. вот эта "гофра"  на первой от 26 - в первую очередь. На затворе мембрана может и целая, зависит от всего... В камере, похоже, даже вращение сохранилось... Охлаждение наверно, забито... Шланги охлаждения, лучше дюритовые... Трансформатор испарителей - комплектный. АВЗ20 - лишнее, по производительности много, по предельному вакууму - мало, если я понимаю о чем речь. нвр5дм - что там есть - то что нужно. Если нужно пошустрее - нужен двухступенчатый какой-нибудь. Много времени займет ремонт стоек, но, опять-же, по виду, гораздо целее, чем те, что у нас работают. Ионизацию можно для начала запустить просто от латра по первичке. (У нас так уже лет 40 работет...)  Я подозреваю, что после протирки, продувки от пыли может все и заработает. Тогда на совесть делали. Неудобно только до жути... Проверить предохранители поставить нормальные, включить, где бахнет, искать. Вакууметр вит2,  поменять лампы, ну, или вымыть. Фотометр правильно сказали, светодиод - фотодиод усилитель вольтметр - алибазар форева. Только фильтр нужен. Теоретически, можно на этой- же установке сделать. Если какой-нибудь, - для начала пары подходяших цветных стекол достаточно будет, если диод на 650 - вообще и так сойдет, от довольно узкий... По времени - около полугода, если вплотную заниматься, если двухслойки делать... 

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
Авторизация  

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу

×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.