Установка вакуумного напыления УРМЗ 279.011

Приветствую. По случаю достались две установки УРМЗ 279.011.Не разграбленные,нет азотных питателей и системы оптического контроля.Камеры диам.500 высотой 700 мм.Три резистивных и один электронно-лучевой испарители.Подъем колпака и отвод в сторону гидравликой.Есть ЗИП и паспорта со всеми схемами.Вопрос,конечно,наивный,но все же-какова перспектива их коммерческого использования?Какова в принципе возможность "поднятия "установок из такого,давно не работающего состояния-шланги,прокладки,масла и еще,наверное,сотня "камней" своими силами,при отсутствии опыта работы с ВУ? Буду признателен за Ваши высказывания и мнения.

Всё можно поднять, особенно если ничего не снесли в утиль.

Проверить состояние резинового сильфона между клапанами - фото 4 и в высоковакуумном затворе.

По случаю достались - привести в рабочее состоянием - толкнуть дальше.

Желаю удачи

Установка на первый взгляд - комплектная. В умелых руках восстановить можно быстро. Вопрос - зачем? Функционал у таких установок не слишком широкий...

Доброго дня, уважаемые читатели.

Хотел обратиться к Вам за помощью, касательно установки для вакуумного напыления тонких пленок УРМ3.279.011.

Она была спасена из рук не хороших людей, которые хотели сдать её в лом, но к сожалению не вся.

В наличии остался каркас, вакуумные затворы-клапаны, паромасляный насос (предположительно Н 250/2500), колпак с неполным набором подколпачного устройства, и работающая система гидропривода колпака.

Токовводная часть отсутствует.

Азотная часть отсутствует.

Форвакуумная магистраль и насос отсутствуют.

Блоки оптического контроля и автоматизации отсутствуют.

Электронно-лучевой испаритель отсутствует (насколько я смог понять).

Пользование предполагается в «ручном» режиме, для нанесения тонких пленок магния фтористого.

Дирекция поставила задача «воскресить» этот лом. Вместо родного форвакуумника был выдан АВЗ-20Д 80ых годов

Опыта работы, а тем более сервиса вакустановок нет, по образованию я инженер-химик, по факту присутствовал при обучении и раздаче дипломов, 10 лет после выпуска трудился мало того, что не по специальности, но и услышанные краем уха знания применить было некуда.

Из понимания по теме книга Иванова "Вакуумная техника", прочитанная документация и бесконечные ветки форумов.

Так же прикладываю документацию к установке, которую смог нарыть. Miriam  заморочился, от фотографировал несколько пачек документов и прислал мне, после чего я по возможности точно привел это в божеский вид, чем, собственно, и хочу поделится с общественностью (мало ли, вдруг кому тоже перепадёт такое «счастье», а тут уже документы есть).

Ссылка на документацию

И не много фотокарточек, для затравки.

Тяжелый случай.

Фторид магния куда, на что, и каким методом?

Вакуумную систему восстановить можно. Напылять оптические покрытия без контроля напыления сложно. А оптический контроль исчез.

2 часа назад, ev_berlin сказал:

Фторид магния куда, на что, и каким методом?

Приветствую, как я понял, подразумевается пылить на стекло, с помощью резистивных испарителей, НО

Это не моего ума дело.

Мне поручено восстановить вакуумную часть, "чтоб сосало и держало".
ЗЫ. Ну а вдруг тема поднимется, может у кого и есть неиспользуемый блок опт.контроля. 

Или, опять же, если всё это нецелесообразно, то хотя бы будем об этом знать.

8 минут назад, forZe_Kir сказал:

Мне поручено восстановить вакуумную часть, "чтоб сосало и держало".

Это проще простого.

Не сомневаюсь, для специалиста это скорее всего не задача.
Я же 2 месяца назад впервые это увидел и начал читать/искать.

Решил начинать с начала, а именно с форвакуума.
Как я и писал, на роль форвакуумника выдали АВЗ-20Д откуда то со склада 1987 г.в. (сейчас точно посмотрел на шильдике).

Обслуживался, вероятно, последний раз ещё при Союзе. Предшественники, из числа таких же как я аппаратчиков (забыл написать, работаем на предприятии занимающемся производством люминофоров), не обслужив и только лишь перезалив масло начали его нещадно гонять(внутреннее состояние после снятия маслоотбойника видно на фото, там "земля").
Как итог сама установка изнутри была загажена маслом, все клапаны, проводы и лампы.

Я это дело раскрутил, отмыл и поставил на место некоторую часть.

Из Иванова вычитал о необходимости организации на магистрали от входа форвакуумника до подсоединения непосредственно к установке устройств (кусок черняги раньше соединял через вакуумный шланг установку и ФВН).
Примерно нарисовал, как я это себе смог представить, и вот бегаю, ищу кто сможет покритиковать это "набросок на салфетке", что добавить, что убавить, где покупать, куда ходить, куда не   ходить.

1 час назад, forZe_Kir сказал:

Блоки оптического контроля и автоматизации отсутствуют.

Электронно-лучевой испаритель отсутствует (насколько я смог понять).

ЭЛИ там не было, судя по всему.

Для распыления использовался термический метод с помощью лодочки. Для фторида магния этого достаточно, материал лодочки - вольфрам.

Низковольтный трансформатор вроде на месте - под установкой идут толстые медные токовводы-  это к медным держателям лодочки внутри камеры.

Простой оптический контроль можно собрать на коленке из диодного лазера, пары линз, фотодиода и вольтметра. Меняя цвет лазера (синий, зелёный, красный) можно несколько расширить возможности.

4 минуты назад, mtimur сказал:

Низковольтный трансформатор вроде на месте - под установкой идут толстые медные токовводы-  это к медным держателям лодочки внутри камеры.

Так точно, это уже новодел. Старый сдали в лом "лутеры". Не запитан. 
Вот это, я так понимаю управление к трансформатору?

17 часов назад, mtimur сказал:

Простой оптический контроль можно собрать на коленке из диодного лазера, пары линз, фотодиода и вольтметра.

Для неграмотных, пожалуйста, назовите литературу где почитать об этом.

12 минут назад, forZe_Kir сказал:

Для неграмотных, пожалуйста, назовите литературу

Вот это?

https://ru.wikipedia.org/wiki/Просветление_оптики

5 часов назад, forZe_Kir сказал:

Для неграмотных, пожалуйста, назовите литературу где почитать об этом.

Там ничего сложного по механике нет, главное всё жёстко закрепить и правильно отъюстировать.

Да и физика процесса для одного слоя описывается школьным курсом физики, раздел интерференция света в тонких плёнках.

Более углублённый вариант: Э.С Путилин Оптические покрытия

6 часов назад, forZe_Kir сказал:

Вот это, я так понимаю управление к трансформатору?

Возможно, но надо смотреть по схемам, какое напряжение надо подавать на понимающий трансформатор, т.к. выходное на лодочку около 5 В и силой тока сотни ампер.

16 минут назад, mtimur сказал:

Более углублённый вариант: Э.С Путилин Оптические покрытия

Спасибо, ушёл читать, за неимением других направлений для действий.
Старожилы молчат, то ли заняты все, то ли связываться не хотят...

3 часа назад, forZe_Kir сказал:

то ли связываться не хотят...

Слово вспомнил из фентези... "некромантия".

В 26.08.2018 в 14:41, miriam сказал:

Вопрос,конечно,наивный,но все же-какова перспектива их коммерческого использования?Какова в принципе возможность "поднятия "установок из такого,давно не работающего состояния-шланги,прокладки,масла и еще,наверное,сотня "камней" своими силами,при отсутствии опыта работы с ВУ? Буду признателен за Ваши высказывания и мнения.

Немного цепанула зависть. Установка по виду, очень в неплохом состоянии... По Фоткам все есть. Пушка на таких предусмотрена была, но похоже, первая снимается. резинки менять. Практически все. вот эта "гофра"  на первой от 26 - в первую очередь. На затворе мембрана может и целая, зависит от всего... В камере, похоже, даже вращение сохранилось... Охлаждение наверно, забито... Шланги охлаждения, лучше дюритовые... Трансформатор испарителей - комплектный. АВЗ20 - лишнее, по производительности много, по предельному вакууму - мало, если я понимаю о чем речь. нвр5дм - что там есть - то что нужно. Если нужно пошустрее - нужен двухступенчатый какой-нибудь. Много времени займет ремонт стоек, но, опять-же, по виду, гораздо целее, чем те, что у нас работают. Ионизацию можно для начала запустить просто от латра по первичке. (У нас так уже лет 40 работет...)  Я подозреваю, что после протирки, продувки от пыли может все и заработает. Тогда на совесть делали. Неудобно только до жути... Проверить предохранители поставить нормальные, включить, где бахнет, искать. Вакууметр вит2,  поменять лампы, ну, или вымыть. Фотометр правильно сказали, светодиод - фотодиод усилитель вольтметр - алибазар форева. Только фильтр нужен. Теоретически, можно на этой- же установке сделать. Если какой-нибудь, - для начала пары подходяших цветных стекол достаточно будет, если диод на 650 - вообще и так сойдет, от довольно узкий... По времени - около полугода, если вплотную заниматься, если двухслойки делать...