Перейти к содержанию
Авторизация  
guide

Напыление нитрида титана, оксида титана

Рекомендуемые сообщения

Установка ннв 6.6 и1, пылим оксид титана и нитрид титана. С нитридом титана все более менее хор. но с как только нужно пылить в смеси газов - возникают проблемы контроля подачи газа (а посути измерения степени ионизации, колличество вырванных из катода ионов) Подскажите знающие люди, как можно быстро снимать измерение этой ионизации ?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

дело в системе напуска газа что ли у вас на установке что стоит

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

насколько я знаю оксид получаем подкисляя кислородом а нитрид в среде азота так у нас пылят декоры на стекло откуда смесь газов и если есть смесь то под каждый газ должна быть своя система напуска либо газовую смесь надо готовить заранее

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

если есть блоки управления натеканием то экспериментально методом проб варьировать подачу запомнить скорость натекания и запомнить цвет плазмы а так только масспектрометром можно наблюдлать по пикам

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

В ННВ-6 да ещё и с дуговым испарителем работать на смеси газов, смысл то какой?

Если нужен оксид, то в чистом кислороде, если покрытие черное, значит газа мало, металл

попадает в покрытие.

Если установка убитая, и дуга не горит на этих давлениях то смесь кислород-аргон можно закачать в баллон, газы не расслаиваются в баллоне.

Если нужен типа очень умный слой ,сложного состава оксид-нитрид то на воздухе работать. Пока в камере есть кислород - нитридов не будет. Скорость реакции с кислородом в 600-800 раз выше чем с азотом.В этом случае - содержание азота в слое зависит от давления газа и тока дуги. Чем выше давление и меньше ток дуги, тем больше кислорода в слое.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Если установка убитая, и дуга не горит на этих давлениях то смесь кислород-аргон можно закачать в баллон, газы не расслаиваются в баллоне.

 

Вместо балона лучше использовать "кислородную подушку" из аптеки ипожарныенедокопаются.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
Авторизация  

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.