ВЧ разряд для осаждения сулифидов

Добрый день, коллеги.

В теме ВЧ разряда являюсь пионером, но уже имел опыт работы на торцевых магнетронах ф124 мм на импортном источнике питания AdvancedEnergy - с максимальной выходной мощностью до 600 Вт, при распылении сульфидных покрытий было выявлено, что покрытия ложатся более менее с хорошей адгезией, если подложку с деталями заземлить.

Сейчас на горизонте появилась новая работа по нанесению судьфидов, но детали по габаритам прилично большие самые огромные болты М64 длиной до 300 мм, люди добрые подсказали что на планарных магнетронах р-ром 400х160 при ВЧ разряде будет неравномерность выработки и соответственно покрытие тоже будет ложится неравномерно (требуется 6 мкм), поэтому хотел бы узнать почему возникает эта самая неравномерность при ВЧ разряде на поверхности масштабных мишеней магнетронов? Какие есть варианты по выходу из ситуации с неравномерностью при ВЧ разряде? Может использовать линейку из нескольких торцевых МРС?

Romanov_PVD, Чушь тебе сказали. Речь там шла о неравномерной выработке мишени, а не о равномерности покрытия...

ev_berlin, Спасибо за информацию,

значит при неравномерности выработки мишени, можно просто её перевернуть в какой-то критический момент!

что на планарных магнетронах р-ром 400х160 при ВЧ разряде будет неравномерность

выработки и соответственно покрытие тоже будет ложится неравномерно (требуется 6 мкм)

Если магнитное поле в магнетроне равномерное, то и выработка будет в этом зазоре равномерная.

А насчет неравномерности покрытия возможны фокусы и зависят эти фокусы от расстояния этого

вращающегося болта от плоскости магнетрона. И чем больше будет это расстояние, тем больше график толщины слоя

вдоль болта будет похож на косинус с пиком напротив центра магнетрона.

Может использовать линейку из нескольких торцевых МРС?

Линейка круглых МРС даст более равномерное распределение, чем один длинный.

Будет косинус на каждом МРС и их сумма в результате. Два круглых МРС на расстоянии 200 мм дадут два горба и провал в центре.

И это может быть более равномерным, чем один длинный магнетрона на 400 мм. Но зависит от расстояния от изделия до магнетрона. Но магнетроны лучше питать каждый от своего источника. Или вообще в противофазе от одного источника, на этот киловатт можно какие-нибудь ТДЛ скрутить после согласующего.

mirs, Ну написал... :) Линейный магнетрон на длине мишени 400 мм даст неравномерность по длине болта 300 мм +/- 7% максимум. Это без попыток выравнивания зоны.

Экранами.

mirs, спасибо за информацию,

планировал запитать 4 МРС от разных источников питания мощностью 1 кВт, но с одним согласующим, может с двумя (те что будут стоять на камере близко друг к другу),

т.к. при ВЧ они будут влиять на разряд друг друга.

Линейный магнетрон на длине мишени 400 мм даст неравномерность по длине болта 300 мм +/- 7% максимум.

На расстоянии 400 мм от оси болта? Если встал вопрос вопрос о неравномерности, значит там не 5 см.

Магнетрон считаем самым обычным, производящим нейтральный пар.

т.к. при ВЧ они будут влиять на разряд друг друга.

Скорее всего будет гореть либо один, либо другой. если от одного источника.

<b>Romanov_PVD</b>,

Так вообще нельзя включать. Будь любезен на КАЖДЫЙ магнетрон своё согласующее и свой генератор. Болты ставить мм 120 от магнетрона. Линейного. И будет вам счастье. Может быть.

Так вообще нельзя включать

Я бы два включил, как дуальник.

<b>mirs</b>,

У него ВЧ- магнетроны. А как ты ВЧ-магнетроны в режиме "дуальника" задействуешь?

А как ты ВЧ-магнетроны в режиме "дуальника" задействуешь?

сделать противофазный сигнал после согласующего.

mirs,

Представляю себе конвульсии согласующего. :shok:

Представляю себе конвульсии согласующег

Хотите об этом поговорить? Киловаттный диод - это тоже не антенна.

mirs,

Пока не хочу. Сделайте два абсолютно одинаковых ВЧ магнетрона, стабильно работающих от одного генератора и одного блока согласования с противофазным сигналом после согласующего... Мы ведь о ВЧ магнетронах? Вот потом можно и поговорить.

Сделайте два абсолютно одинаковых ВЧ магнетрона, стабильно работающих от одного генератора и

одного блока согласования с противофазным сигналом после согласующего...

Вначале нужно на приз посмотреть.

<b>mirs</b>,

Аплодисменты гарантирую...

Аплодисменты гарантирую...

Ну мой опыт с конкретным ВЧ магнетроном много лет назад, показал что это нелепая дорогостоящая игрушка.

Катод был из фторопласта, газ был аргон и какие-то не менее нелепые плёнки этого фторопласта на стекло напылялись.

И несмотря на это, установка с таким магнетроном была продана задорого в город Ниигату, в музей российской

вакуумной техники им Кенсуки Уемуры. Там был ВИТ-3 в паре с СНА-2. Горело это чудо примерно на пол паскале,

почти форвакуум. Диф захлебывался даже с дросселированием СНА-2 с ВИТ-3 с трудом всё это отслеживали.

На сейчас реализация ВЧ магнетрона проблем не представляет. На ebay старенькие дресслеры в очередь стоят,

купите меня плииз, недорого. Но какие можно получить с этого пряники совершенно не представляю.

Фторуглеродные покрытия легко получатся из газовой фазы разложением фреона тем же дресслером без необходиомости распыления фторопластового катода.

И чО, никто не расскажет про пряники?

<b>mirs</b>,

Правильно собранный и функционирующий ВЧ-магнетрон работает в достаточно низких давлениях ( обычно немного ниже, чем при постоянном токе). Ну и напыление из диэлектрических мишеней. Остальное - как в обычном магнетроном напылении.

mirs,

Пряники - это миллионный заказ на несколько лет работы, может на два (2018-19), нанесения покрытий из MoS2,

в зависимости от объемов загрузки камеры, нужно все это для соединения первой стенки корпуса бланкета ИТЭР, необходима аттестация оборудования и технологии на международном уровне с представителями от туда (китайцы, немцы, французы и мн.др.), т.к. ИТЭР международный проект.

Работа будет в два этапа:

1. Квалификация:

6-10 болтов 141.22.001 или 141.22.003 или 141.22.004.

215.25.024 – 3 шт.

214.25.023 – 3 шт.

142.4.090 СБ – 8 шт.

198.5.000 СБ – 8 шт

накладка цилиндрическая (аналог 142.4.090 СБ) с рабочим диаметром 100 мм и сферой R300. – 8 шт.

Для серийного покрытия количество следующее:

141.22.001 – 215 шт.

141.22.002 – 430 шт.

141.22.003 – 1140 шт.

141.22.004 – 1180 шт.

141.22.005 – 1160 шт.

214.25.023 – 2320 шт.

142.5.018 – 215 шт.

142.4.090 СБ – 1720 шт.

142.5.060 СБ – 215 шт. (коническая поверхность)

198.5.000 СБ – 1856 шт.

накладка цилиндрическая (аналог 142.4.090 СБ) с рабочим диаметром 100 мм и сферой R300. – 964 шт.

нанесения покрытий из MoS2,

А обычным магнетроном пылить молибден в сероводороде? Или не?

Правильно собранный и функционирующий ВЧ-магнетрон работает в достаточно низких давлениях

Начнем с того, что исключены полностью микродуги как явление и отравление мишеней тоже

как явление исключено полностью.

Обычный магнетрон можно запустить на низких давлениях если поиздеваться над источником питания.

mirs, добрый день.

дело всё в том, что кроме обычного дисульфида молибдена, было еще два покрытия, которые пришлось распылять на ВЧ магнетроне - это дисульфид вольфрама и дисульфид молибдена с 13,5% титана.

Может оно было бы и полегче не связываться с ВЧ, но мишени уже были закуплены и при помощи обычного дуального источника с двух МРС, получилась очень маленькая скорость осаждения, поэтому пришлось спасаться при помощи ВЧ источника.

<b>Romanov_PVD</b>,

Все эти Ваши дисульфиды и прочая совершенно естественно распылять ионным источником приличных параметров. Существенно и производительность повыше, чем ВЧ-магнетроном.

И материалы - любые для распыления. Ну и т,д и т.п.

Дисульфид молибдена с 13,5% титана распыляли из керамической мишени? В дуальном режиме какая частота была? Чьи блоки?