Перейти к содержанию
Konst_Dum

Материал корпуса для магнетроного напыления

Рекомендуемые сообщения

Доброго времени суток!

Помогите!

Суть вопроса в том что необходимо изготовить мини установку для напыления металлов (медь) на керамику по принципу магнетронного напыления.

Проблема в то что у нас на производстве нету нержавейки немагнитной и вообще никакой (меди тоже нет, только листовая), есть алюминий Амг6 и титан Вт1-0, можно ли изготовить корпус из алюминия или титана, мишень соответственно медная.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Можно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Konst_Dum</b>,

АМГ-6 годится. А лучше в гости заходи. Поскольку рядом.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Спасибо за ответы.

 

 

Евгений хорошо зайду если дадите телефон можно в личку созвонимся?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Konst_Dum</b>,

Просто в поисковике забейте ФИО, и само все найдётся. В гогле. Владимирович я.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Цитата

 

напрашивается вопрос о адгезии распыляемого материала на стенки камеры.

будет ли подложка терять качество от загрязнения камеры.

и как собираетесь очищать камеру

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
В 01.07.2022 в 18:44, HeliaPVD сказал:

напрашивается вопрос о адгезии распыляемого материала на стенки камеры.

будет ли подложка терять качество от загрязнения камеры.

и как собираетесь очищать камеру

У нас медь на заводе пылят с лодочек(увн70а) , с тигелей(оратория9) , в университете с магнетрона, с прямым охлаждением(увн71п3) , в общем виде подложка ничего не теряет, по поводу чистки всегда можно сделать экраны, как на 9ке, на 70а чистка перед каждым процессом, на 71п3 чистка вместе с заменой мишени, теже принципы что на 71п3 у нас и на магнах, где алюминий пылят и на увн73/увн71(переделанных под магнетрон) 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
5 часов назад, smileinc сказал:

У нас медь на заводе пылят с лодочек(увн70а) , с тигелей(оратория9) , в университете с магнетрона, с прямым охлаждением(увн71п3) , в общем виде подложка ничего не теряет, по поводу чистки всегда можно сделать экраны, как на 9ке, на 70а чистка перед каждым процессом, на 71п3 чистка вместе с заменой мишени, теже принципы что на 71п3 у нас и на магнах, где алюминий пылят и на увн73/увн71(переделанных под магнетрон)

Экраны надо применять, съёмные. Тогда стенки не нужно будет драть.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
3 часа назад, ev_berlin сказал:

Экраны надо применять, съёмные. Тогда стенки не нужно будет драть.

Ну если брать грязные соединения типа нитрида кремния, или драг. металлы типа золота/платины, то да, а для той же меди условно пофигу, но в общем виде запыление камеры не как не влияет на качество плёнок, если есть хоть какая-то адгезия материала к стенкам

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
18 часов назад, smileinc сказал:

же меди условно пофигу, но в общем виде запыление камеры не как не влияет на качество плёнок, если есть хоть какая-то адгезия материала к стенкам

Вы не правы. Любые зарастания стенок в установках периодического действия увеличивают газоотделение со стенок в процессе нанесения. Что влияет на качество покрытий ( той же меди), особенно если скорость напыления не велика ( магнетронное напыление, например)...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
4 часа назад, ev_berlin сказал:

Любые зарастания стенок в установках периодического действия увеличивают газоотделение со стенок в процессе нанесения

Состеночный газ :-)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу

×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.