Перейти к публикации

Из сообщений удалены кнопки "цитата" и "мультицитата". Используйте выделение для цитирования.

ora9m

Ионная имплантация (установки, производители, покупатели)

Рекомендованные сообщения

Доброго времени суток, форумчане)

 

Хотелось бы поинтересоваться, сталкивались ли вы с установами для ионной имплантации?

Вообще в России или в странах СНГ кто-нибудь этим занимается/занимался? Инфы очень мало.

 

Интересуют предприятия, которые работают на таких машинах, да и кто их изготавливает (опять же из наших российских).

 

 

Спасибо.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

ora9m, Изготавливали в России, типа "Везувий" и в Киеве - типа "Днепр". Ни там - ни там следов от этих предприятий уже не осталось.

На таких машинах может быть работают старые заводы, типа Воронежской "электроники", Московского "Пульсара", Фрязинского "Истока".

Давно ничего о таких установках не слышал.

А зачем они понадобились?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

ev_berlin, спасибо за инфу, Евгений Владимирович!

Да вот руководство задачу поставили мол что за установки такие, кто производил, что за ниша, так сказать

 

а про эпитаксию на анлогичный вопрос не ответите?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

ora9m, Да можно и про эпитаксию. В Зеленограде до сих пор "Эпиквары" у кого то стоят. С точки зрения выпускать - все эти разработки - 30 летней давности. Смертельно устарели.

Документацию на "Везувии" - имплантеры, можно попробовать достать в НИИВТ им.Векшинского, они вроде архивы в макулатуру не сдали. Эпитаксиалки - в НИИТМ был отдел, занимался разработкой.

Состояние их архивов - мне неизвестно.

Сбыта такой технике сейчас - не найти. Заводы покупают "под ключ", с полным набором оборудования. И технологией. Отдельные, не включенные в технологические цепочки установки - не приобретаются.

Изменено пользователем ev_berlin

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Эпитаксии делают на питерском по "светлана", по крайней мере лет пять назад там был, вовсю делали...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

У нас на предприятии стояла установка для легирования кремниевых пластин -- производитель, конструктор -- по моему, НИИ Курчатова.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

ora9m, Установки ионной имплантации в России производили два предприятия: НИИ вакуумной техники им. Векшинского в Москве и Саратовский завод электронного машиностроения. У первого предприятия установки носили названия "Везувий" + номер разработки (из тех, что я помню - "Везувий-3", -4, - 5, -13, -15 и -16, кажется, так). Саратовский завод выпускал установки "Лада-20", "Лада-30", "Днепр". На обоих предприятиях выпуск установок давно прекращен. В нулевые годы разработкой и выпуском установок пыталась заниматься компания "МЭТИС", созданная на базе московского АО "Красная Звезда". В настоящее время компания "МЭТИС" не существует, на сайте "Красной Звезды" никакого упоминания об установках ионной имплантации не имеется. Так что, увы, похоже единственный вариант - это покупка импортной установки.

 

ev_berlin, Евгений Владимирович, я никогда не слышал, чтобы установки ионной имплантации выпускались в Киеве. Не скажете, на каком заводе было такое производство? Это я спрашиваю просто из любопытства.

 

Пустота, Сергей, можно немного поподробнее про Имплазу? Я что-то про такую марку никогда не слышал. Кто производитель, какого примерно года выпуска?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Имплантер у красной звезды заказывали (тиус-40), сейчас они сгинули в вечность, куда им и дорога. Есть еще много на постсовке старых, но работающих, какая-то из Питерских "Светлан" (Светлана-полупроводники, если не ошибаюсь) пару лет назад продавали везувий-5, может еще не продали/не сдали в лом, можете поинтересоваться, если актуально еще. Новыми импортными тоже интересовались, цена от 100 млн.руб озвучивалась.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Sterling Archer, на Красную звезду я уже обратился, похоже, что к изготовлению имплантеров они уже не вернутся. По стоимости новых импортных имплантеров у меня пока получается что-то около 130 млн. руб., б/у восстановленную установку (в приличном состоянии), вероятно, можно купить по цене порядка 70 млн.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Legolas, Если мне память не изменяет, то в новосибирском Востоке пару лет назад купили восстановленный имплантер Eaton. Но за достоверность не ручаюсь, могу путать. Вообще вроде целые конторы у буржуев есть, которые только и занимается тем, что модернизируют старые имплантеры и обслуживают их.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

serega_naglayaroja, Спасибо за наводку, попробую узнать. Вообще-то, я как раз пытаюсь найти такую контору(конторы). Из того, что мне известно, это французская IBS (Ion Beam Services). Они, в частности, делают практически новые машины, используя железо от Eaton Nova NV-6200 или Varian DF/CF-3000. Но и цена получается близкой к новой машине (более 2 млн. евро). Чтобы кто-то делал именно восстановление (refurbishment), пока не нашел. Впрочем, как раз сегодня коллеги пообещали мне прислать нужные контакты.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Есть много производителей ионных имплантеров, но не в России. Из небольших компаний: IBS во Франции делает имплантеры для пластин до 150 мм, есть датчане, тоже до 150 мм, есть китайцы, но они делают имплантеры для 150 мм, и вплоть до 300 мм, т.е они крупные. Это все имплантеры на средних токах. Для больших токов или больших энергий есть другие производители. Есть очень крупные производители - был Varian, но его прикупил АМАТ, был Eaton, но он выделил производство имплантеров в отдельны бизнес и появился Axcelis, который был поглощен Sumitomo(бывший SEN), и жив еще Ulvak. Модель IMC-200 от IBS стоит в Зеленограде, Новосибирске и Нижнем Новгороде. Также в России есть много компаний использующих восстановленные имплантеры от varian, AMAT, Axcelis, но нет смысла их всех перечислять, и есть даже редкие раритеты типа Balzers, который давно откинул копыта. Не вижу проблем найти информацию - наберите в яндексе "ионный имплантер" и будет Вам и новый имплантер и восстановленный и даже с синей полосой на боку.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Newmanusa, спасибо, я почерпнул кое-какую новую информацию. Впрочем, должен заметить, что я не совсем новичок в этой теме. Еще 30 лет назад мне довелось немного поработать на голландской установке HVEE (High Voltage Engineering Europe). Вы, наверно, ее знаете, это высокоэнергетический имплантер на 500 кВ. Эта установка до сих пор работает у нас на пластинах диаметром 100 мм.

У меня сейчас есть большое желание найти более или менее бюджетный вариант перевода производства на пластины диаметром 150 мм. При этом одна из задач - как раз найти имплантер под этот диаметр. Рассматривал разные варианты, в т.ч. даже разговаривал с ребятами с "Красной Звезды". Однако, их новый ген. директор принял решение о сворачивании работы по имплантерам.

 

Что касается фирм-производителей оборудования, то я несколько лет назад смотрел рынок, и у меня в голове сложилась такая картинка.

Основные разработки вышли из «кластера», расположенного на северной окраине Бостона ‑ во-первых, это Axcelis (ранее Eaton Nova), во-вторых, Varian.

При этом, по некоторым сведениям, одни и те же люди принимали активное участие в становлении и развитии обеих фирм.

Это и понятно, т.к. сделать такое оборудование на пустом месте невозможно, нужен коллектив талантливых и высококвалифицированных разработчиков - ученых и инженеров. Т.е. ситуация примерно такая же, как со степперами (Canon и Nikon).

Вездесущая AMAT (Applied Materials) в 2011 г. приобрела имплантерный бизнес у Varian, и стала крупнейшим игроком на этом рынке (80% рынка). При этом AMAT удерживает первенство в 2 сегментах рынка (установки больших, а также малых и средних доз). По высокоэнергетическим имплантерам первенство у Axcelis.

Axcelis создал СП c Sumitomo (SEN Corp.), которое удерживает бÓльшую долю японского рынка (Кстати, Вы представали ситуацию с Экселисом и Сумитомо несколько в ином свете. Но я в свое время смотрел публикации в Инете...)

Модели установок у SEN, судя по обозначениям, в принципе те же самые, что у Axcelis’а.

Ibis Technology производит специализированное оборудование для имплантации кислорода (для технологии SIMOX).

Фирма Nissin известна еще с 80-е годов, но у меня мало данных об их продукции.

Про Ulvac почти ничего не знаю, кроме того, что они существуют.

С людьми из IBS общался заочно и очно, в т.ч. несколько лет назад разговаривал в Москве с их ген. директором.

Кажется, фирма неплохая, и цены вроде бы разумные, но в целом для нас это сейчас дороговато.

Так что сейчас понемногу продолжаю поиск в фоновом режиме....

У меня к Вам такой вопрос - я ничего не слышал о датчанах. Может быть, Вы путаете их с голландцами (HVEE?)

И про китайцев - не назовете ли фирму? Интересно посмотреть, что они там делают.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Newmanusa, Спасибо, китайский сайт открылся. Представлены 4 машины: имплантер малых и средних доз, имплантер высоких доз, высокоэнергетический имплантер и специализированная (исследовательская) установка. Параметры машин достаточно впечатляющие.

Кстати, встретил в описании установки малых и средних доз некоторые незнакомые для себя термины, а поскольку я любопытен, хочу Вас спросить, не знаете ли, что это такое:

1). В тексте "high beam transport efficiency at low energy as the assist of LE lens and PFG", что означает аббревиатура PFG?

2). Что за зверь такой:Fragmentation 1:100000?

По последнему термину есть одна догадка, но, может быть, Вы знаете точно?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Если память не изменяет, в этом году Везувий, продали с питерской Светланы. Или еще продают. В этой теме, я очень где то сбоку, но могу поинтересоваться, если вам это интересно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Vladimir Savenko, Вообще говоря, где хочу, там и пишу. Mille pardon.

В открытом форуме пишу, как правило, то, что либо может представлять общий интерес, либо задаю вопросы, на которые кто-то из форумчан (заранее неизвестно, кто) может дать ответ.

 

ALEX_61, да, мне интересно. Кстати, тут один мой коллега как раз интересовался "Везувием".

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

<b>Legolas</b>, спросил, установку уже продали.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Пардон, конечно, но хотелось бы, для растопыривания кругозора, хотя бы в двух словах рассказать, что это такое?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

СергейИ, а не лениво Вам для начала хотя бы заглянуть в Вики? Например, так: https://ru.wikipedia.org/wiki/Ионная_имплантация.

Там статья не очень качественная, но для начала сойдет. Если будут вопросы, попробую ответить.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Там статья не очень качественная, но для начала сойдет.

Там статья а я просил "пару слов". Спасибо за ссылку. Я сначала написал, а потом подумал про Вику. Изменено пользователем СергейИ

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Поднимая тему, и для расширения кругозора. Установки "Везувий" производил Брянск (сколько помню). "Лада" - Саратов, к сожалению завод умер. Сейчас по слухам пытаются возродить, но сколько на это положат времени, и хватит ли сил ..... . НО за это время были разработаны и выпущены:

"Лада - 20" (в девичестве амеровский "Challenger") - 200 Кэв - малые дозы, поштучная обработка, "холодный" источник, откачивается каждая пластина. (работал, и даже принимал некоторое участие в доработке (вместе с разработчиками естественно) d 83-84 годах).

Позже на Украине (где - не в курсе) был выпущен "Днепр", та же 20ка, но с горячим источником. Хотя и под 20ку тоже вроде такой появился, и она поставлялась в двух вариантах. 100мм.

Позже появилась "Лада - 30" - 200Кэв - средние дозы, карусельная обработка (на ней не работал, только видел (живут пока, как и "Везуий 5" у нас) т.к. покидал родной завод на 30 лет, только недавно вернулся). 100мм.

Потом "Декрет" - 180 Кэв средние и большие дозы,горячий источник, дисковая обработка (12 пластин на диске), автоматическая загрузка, откачивается кассета.

И "Доза" - 200 Кэв малые и средние дозы, горячий источник, поштучная обработка, откачивается кассета.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

шаман59, Я не великий профи в ионной имплантации, довелось немного поработать во второй половине 80-х годов на установке High Voltage Engineering Europe (500 кВ). Живьем видел старые "Везувии" - 3,4,5, а также более поздние - "Везувий-13", Ладу-20", "Днепр". Насколько я помню, тогда ситуация выглядела следующим образом. Московский НИИ ВТ им. Векшинского разработал серию машин "Везувий" с двухзначными номерами (11,12, 13, 15 и 16). На этом серия, вроде бы закончилась. Главным конструктором у них был, кажется, Симонов. Параллельно КБ Саратовского завода электронного машиностроения делало свои разработки. По-моему, оттуда вышли "Лада-20" и "Днепр". По отзывам людей, которые на них работали, эти машины оказались более удачными, чем московские "Везувии". "Ладу-30" я видел где-то в конце 80-х на каком-то из питерских (тогда еще ленинградских) предприятий. Машина мне не понравилась своей механической разверткой (по одной из координат), в которой применялась цепная передача, живо напомнившая мне тогда велосипедную цепь. Эта штука неизбежно должна была генерировать чертову уйму микрочастиц, что и подтверждалось в спецификации на привнесенную дефектность (0,5 частиц на кв. см, что было в 10 раз больше, чем норма для других машин).

Обе команды разработчиков разбежались из-за распада своих фирм (НИИ ВТ и СЗЭМ). В нулевые годы наладить производство имплантеров пытались на московском заводе "Красная Звезда" (на его базе одно время существовала компания "МЭТИС", которая и занималась имплантерами). В настоящее время, насколько я знаю, там тоже все закончилось.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Legolas,   альтернативы IBS для российского рынка практически нет. Вряд ли кто-то будет готов платить 10+ млн евро/долларов за новый AMAT или Axcelis, да и производственные мощности этих машин огромны для нашей современной промышленности и никто их полностью не загрузит. Ulvac очень неохотно работает в России ввиду особенностей японского делопроизводства, пока их машин в России нет. HVEE - это машины на высокие энергии.

Если нужен имплантер на средние токи с энергиями однозарядных ионов до 400 кэВ, то пойти кроме них особо некуда. Из плюсов: есть решения и техпроцессы на большой список примесей, есть поддержка в России; из минусов: ценник все равно большой. Они, кстати, еще восстанавливают старые имплантеры (Varian, Eaton), ценник будет ниже чем на их новый, но надо учитывать, что машинам по 25+ лет, их гоняли и в хвост и в гриву, даже после качественного восстановления что-то периодически будет вылетать. Если нет хорошего инженера, готового тратить на это время и запаса кое-какого свободного кэша, то вариант сомнительный.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×