Перейти к публикации

Изменен п. 12 раздела "Другие ограничения", просьба ознакомиться. Расшифровка и пояснения - тут

Mister Vacuum

Совместимость материалов для напыления в одной вакуумной камере

Рекомендованные сообщения

Добрый день, уважаемые коллеги!

 

Как я прекрасно понимаю, на больших электронных производствах для нанесения каждого отдельного материала применяется своя установка. Но с лабораторным оборудованием такой подход не работает.

 

В Бауманский университет приходит новая электронно-лучевая установка, с помощью которой предполагается получать сверхчистые пленки материалов весьма широкого спектра: от применяемых в электронном производстве до оптических покрытий.

 

Естественно стенки камеры будут закрыты фольгой, и она будет меняться при смене материала напыления, но понятно, что идеально чистой от материала нанесения она не будет.

Слышал, что «грязными» с этой точки зрения материалами являются медь и цинк, а также их соединения.

 

Возникает вопрос, какие материалы не совместимы или есть определенные, которые загрязняют камеру? Это определяется давлением насыщенных паров? Есть ли справочниками со значениями давлений для различных материалов?

 

Буду благодарен, если вы поделитесь своими знаниями и опытом в этом вопросе

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

стенки камеры будут закрыты фольгой

! отожженной фольгой. и не экономить на фольге. менять почаще.

«грязными» с этой точки зрения материалами являются

также многие сульфиды, теллуриды

 

- по скорости ( времени) откачки на высокий делать вывод о необходимости профилактики камеры

- перед "дорогостоящим" или важным процессом делать очистку камеры безусловно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

<b>Mister Vacuum</b>,

Справочники с давлением паров различных материалов в зависимости от температуры - есть. Только сомневаюсь, что их можно купить где нибудь. Уж очень они старые. Свой случайно купил "на развале", много лет назад за совершенно смешные деньги. Еще переспросил, не ослышался ли я насчет цены.

Медь - не плохой материал для вакуума. "Плохие" материалы - цинк, свинец, магний, висмут, теллур, и их соединения, а также сера, фосфор, мышьяк. При относительно слабом нагреве давление их паров в камере возрастает, и они "лезут" в покрытие, и везде. При этом вакуумметр часто не показывает давление этих материалов, поскольку он холодный.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Только сомневаюсь, что их можно купить где нибудь. Уж очень они старые. Свой случайно купил "на развале", много лет назад за совершенно смешные деньги.

Часть есть в CRC Handbook of Chemistry and Physics, 2010 ( ну и наверное в более поздних издания). Правда, данные не полны и давления тоже не очень низкие, но хоть какая-то информация.

Например :

post-13355-008840500 1437141779_thumb.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Медь - не плохой материал для вакуума. "Плохие" материалы - цинк, свинец, магний, висмут, теллур, и их соединения, а также сера, фосфор, мышьяк. При относительно слабом нагреве давление их паров в камере возрастает, и они "лезут" в покрытие, и везде. При этом вакуумметр часто не показывает давление этих материалов, поскольку он холодный.

Евгений Владимирович, получается что "плохими" просто являются материалы с высоким давлением паров? но для того же свинца (из моей таблицы по ссылке ниже) температура плавления при 10в -6 Торр больше 400 градусов Цельсия, или же он начинает сильно лететь раньше?

или есть какие-то другие критерии (численные или хотя бы качественные) по которым это можно оценить или только накопленный опыт?

 

Часть есть в CRC Handbook of Chemistry and Physics, 2010 ( ну и наверное в более поздних издания). Правда, данные не полны и давления тоже не очень низкие, но хоть какая-то информация.

Zoraccer,

у меня тоже есть некоторые данные и для более низких давлений: вот ссылка на них http://www.vem-co.co...ation_Guide.pdf,

для самых ленивых принтскрин с частью данных в приложении :)

post-125976-050847400 1437143169_thumb.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

<b>Mister Vacuum</b>,

Некоторые материалы имеют очень высокое давление паров еще не достигая температуры плавления.

Тот же цинк, к примеру. Или свинец. Вот у олова и алюминия - давление паров низкое, даже после точки плавления. Или индия.

Есть таблицы зависимости давления паров от температуры, и для элементов, и для соединений. У меня они есть. Это справочник толщиной в руку. Я им и пользуюсь. В общем, соответствует, хотя и для некоторых материалов погрешности находились. Но не для тех, которые тебя интересуют.

Изменено пользователем ev_berlin

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Разнообразное использование тонкого оборудования приводит

это оборудование в состояние "хлам" весьма быстро.

Гвозди микроскопом.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Основное особо с пушки лучше пылить не по 1 слою а послойно и за раз на пушке есть тигли по 4шт и сканирующий луч тк при открываниии и последующем заполнении состава др НЕЕЕ АЙС те время грязь киловаты моточасы и гимор

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на других сайтах

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.


×