Перейти к содержанию
mssid

РРГ Horiba SEC-E40: неуправляемый клапан

Рекомендуемые сообщения

Здравствуйте!

 

Есть у меня РРГ (он же контроллер массового расхода газа, mass flow conroller - MFC) Horiba SEC-E40. Его интерфейс - разъём DB-9 с такой вот распиновкой:

 

1 - пустой;

2 - выдаёт расход газа напряжением от 0 до 5 вольт (требует сопротивления не менее 2 кОм);

3 - питание (двуполярное): +15 В;

4 - питание (двуполярное): общий;

5 - питание (двуполярное): -15 В;

6 - управляющий клапаном сигнал (подаю до 0,25 В - он полностью закрыт, подаю больше - постепенно открывается и при 5 В полностью открыт);

7 - "земля" для сигналов (Signal COMMON);

8 - тест положения клапана (должен выдавать напряжение от -15 В [клапан полностью закрыт] до 0 В [полностью открыт]);

9 - пустой.

 

Сделал для него блок управления на базе Arduino. И, вроде, всё по этой распиновке спаял-скрепил, но клапан никак не реагирует на мои команды. (Расход измеряется при этом как надо: компьютер рисует графики, похожие на правду.) Как только подаю питание, клапан сразу открывается (пальцем чувствуется, что газ начинает течь, сигнал расхода немного улетает за максимальные 5 В а 8 pin выдаёт примерно -0,7 В - что соответствует почти полностью открытому клапану). Подавал на 6 pin ШИМ-сигнал с Ардуины (именно так и планируется управлять клапаном), закорачивал с "землёй" на 7 pin, вставлял между 6 и 7 пинами батарейку на 1,5 вольта - никакой реакции.

В инструкции есть такая строчка: "Since Pin #4 and Pin #7 are not connected inside the MFC, be sure to wire them separately and make them common on the power supply side." Меня терзают смутные сомнения по поводу правильного понимания того, что такое "power supply side", но я решил, что нужно "GND" Ардуины соединить с общим выходом двуполярного блока питания. Хотя пробовал и не соединять их - всё равно клапан не работал.

 

post-110684-008884600 1413546647_thumb.jpg

 

На приложенной картинке - схема РРГ. Видно, что клапан не напрямую управляется напряжением с Pin 6, а через некоторый "контур сравнения". Он же, полагаю, выполняет функцию "Auto Zero". Чувствую, проблема кроется где-то тут... но решить её не получается.

 

Так что вопрос получается таким: "Почему клапан в этом случае может не работать?" Может, сталкивался кто-нибудь с похожей проблемой? Поломка практически исключена: два разных РРГ (одной и той же модели) ведут себя одинаково.

 

Буду очень признателен за любую полезную информацию!

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

mssid, Ты даешь на 6 пин задание. Сигнал сравнивается с расходом газа, измеряемям тепловым измерителем потока. И если они равны, расход стабилизируется. Без подачи газа через РРГ схема не работает. Если давление газа очень большое (разница между входом и выходом желательно в районе одной атмосферы, можно чуть больше, но чуть. Если расход очень большой, клапан закроется или начнет дергаться.

Никаким шимом там ничего не управляется. Сигнал нужен постоянный. Начнешь дергать, схема "сойдет с ума".

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin, я рассматривал вариант несовместимости с ШИМом. Но на батарейку между шестым и седьмым пином клапан тоже не реагировал (пробовал при этом и связывать седьмой пин с "общим" на блоке питания, и разъединять их). И когда эти пины закорачивал между собой, тоже ничего не происходило - хотя, казалось бы, вот уж где настоящий ноль подаётся. И газ тоже подключал. Не атмосферу, правда, а примерно полторы-две, но в инструкции написано "Operating differential pressure: 50~300 kPa".

Кстати, аналогичные по принципу работы РРГ фирмы Burkert управляются именно ШИМ-сигналом (про частоты не знаю).

 

Я подозреваю, что автоматика в том устройстве, которое сравнивает сигналы, каким-то хитрым образом "самонастраивается" (ведь что такое "Auto Zero function"?), и я пока не дал ей возможности настроиться как надо. Не знаешь, что с ней делать надо?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>mssid</b>,

Как он должен был реагировать? У тебя второй сигнал должен быть равен задаваемому шестому. Это значит, что расход равен заданию. Клапан не щелкает, а плавно открывается, и регулирует поток в своем зазоре, чтобы он был равен заданному. Поток измеряет устройство, на твоем рисунке слева от клапана. Если сигнал задан, а газа нет, клапан ( на самом деле это регулятор, и, как правило, вакуум не держит) открывается полностью, но понять, открыт он или нет, внешне никак нельзя, в клапане нет датчика конечных положений. Стоит в таком состоянии подать в него газ ничего не будет заметно, если расход задан на максимум, то клапан и останется полностью открытым. Уменьшая сигнал на шестом, меряй на втором. Они должны быть равны. Кстати, а на какой расход устройство рассчитано, у него на табличке маркировка должна быть?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin, спасибо, на таком уровне я понимаю принцип работы РРГ. Кажется, мы не совсем понимаем друг друга... Проблема-то не в том, что клапан открыт в отсутствие газа. Газ я подаю, со второго пина получаю нормальные значения, но на изменения сигнала на шестом пине никакой реакции нет. То есть, проблема у меня в том, что не выполняется это:

Уменьшая сигнал на шестом, меряй на втором. Они должны быть равны.

 

Да, должны быть равны - но по факту наблюдаем, что "Comparison control circuit" не пытается подстраивать расход газа (то есть, положение клапана) под управляющий сигнал. Мне и нужно узнать: ПОЧЕМУ?

 

Кстати, а на какой расход устройство рассчитано

Вот из инструкции: post-110684-006548100 1413655037_thumb.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>mssid</b>,

Ничего себе расход! Это куда же такого монстра? 10 литров в минуту! Наверно, это не для вакуумной установки.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin, насколько я понимаю, подстроечным винтом можно выбрать стандартный расход 100CCM - это уже в сто раз меньше. И потом, клапан начинает реагировать на напряжение от 0,25 вольт (при максимальных пяти) - то есть, минимальный поток, который я могу пропускать - пять кубических сантиметров в минуту. Я только-только начинаю знакомиться вакуумом, ещё совсем профан в этом деле и своими руками толком ещё ничего не делал, но, мне кажется, для поддержания, например, атмосферы аргона в камере объёмом около 80 литров пять кубиков - не так уж и много... =)

 

( на самом деле это регулятор, и, как правило, вакуум не держит)

Опять же из описания:post-110684-016394900 1413658208_thumb.jpg

Вроде, неплохо...

 

Но мы отвлекаемся от темы! :rolleyes:

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>mssid</b>,

Насколько я понимаю в РРГ - то у него задан диапазон - минимальный расход - 100 ccm максимальный 10 lm. Ни на одном РРГ винтов, которые меняли бы ему диапазон регулирования в 100 раз, не встречал. Может, это все таки что то вроде установки нуля?

Без газа на второй ноге должен быть "0", а с газом сколько? И меняются ли показания, когда газовый кран делаешь больше, или меньше ( руками, на входе)?

Если на 6-й ничего не подаешь, газ через регулятор идти не должен.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Для этих MFC есть стандартные расходы 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM .Или в паспорте, или на самом приборе должен быть написан расход, для которого изготовлен конкретный прибор.

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Добрый день!

Случайно наткнулась на это обсуждение и есть вопрос:

У кого-нибудь из вас имеется схема распиновки для SEC-Z512MGX и LF-F10M horiba (расходомеры газа и жидкости)?

Буду премного благодарна.

Изменено пользователем ekatever

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.