Перейти к содержанию
Авторизация  
Aleksey Vozniy

Магнетон с составной мишенью

Рекомендуемые сообщения

Если сделать мишень планарного магнетрона из двух половинок, скажем титан (напряжение горения плазмы, например, 350 В в данном магнитном поле), а вторую половину из проводящего кремния (напряжение горения пускай 700 В). Какое напряжение установится на генераторе 350 В, 700 В или что-то среднее? Как установившееся напряжение скажется на скорости распыления с обеих половинок: распыление станет более интенсивным или менее?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Обычно из двух половинок не делают. Обычно делают пятачками, секторами, лепестками..

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Aleksey Vozniy, Напряжение будет по минимуму. Очень плохой вариант. С неоднородным разрядом. И покрытие - из двух материалов с переходной зоной.

Если использовать более дробное заполнение, то перераспыление материалов между разнородными частями мишеней приводит к покрытию поверхности мишени неким усредненным составом. Выравнивается выработка и состав покрытия.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Тут вопрос скорее не прикладной, а фундаментальный. Нечто похожее будет происходить если взять два одинаковых магнетрона с разными мишенями и подключить их к одному источнику питания параллельно, при этом не забыть удвоить подаваемую мощность. Какое установится напряжение и как изменится скорость напыления титанового и кремниевого магнетронов по сравнению со случаем, когда мощность подается на них отдельно?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin

Хорошо, давайте представим однородный разряд. Такой, как показан на рисунке, какое будет напряжение и скорость нанесения с поверхности каждого магнетрона?

post-96963-051294100 1395841118_thumb.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

так думаю низковольтный будет коротить высоковольтный

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Оба магнетрона подсоединены к одному источнику питания одним проводом, так что коротить не должно. Просто установится напряжение между 350 и 700 В. Причем не понятно в какой бок оно изменится и как это равновесное напряжение повлияет на скорость распыления с поверхности первого и второго магнетронов.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

плазменным потоком перебьет высоковольтный енто мне так кажаться

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Aleksey Vozniy</b>,

Вот так как показано, гореть будет один, низковольтный.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin

Да, точно... это как ток, который будет идти через проводник, а не через сопротивление, как показано на рисунке.

Тогда для того, чтобы выровнять скорость напыления, возникает желание уменьшить магнитное поле на низковольтном магнетроне.

post-96963-030355400 1395843988_thumb.jpg

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Aleksey Vozniy</b>,

Там не только магнитное поле "играет", но и коэффициент ионно-электронной эмиссии. И по мере выработки мишени условия тоже "поплывут". Так экспериментировать можно бесконечно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

нее тама могеть типа под один подложить др типа пирога хз или полоски тонкие

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>оптон</b>,

Игорь, все уже давно придумано. Не будем изобретать велосипед.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin

Я как-то не подумал про этот коэффициент ионно-электронной эмиссии. Т.е. получается, что даже если обе половинки сделаны из двух хорошо проводящих, но разных металлов, есть большая вероятность, что загорится только один из магнетронов?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Aleksey Vozniy</b>,

С одной зоной эррозии гореть будут оба, холловский ток объединит, а если магнитные системы отдельные, то работать будет один.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Детский сад. Если так хочется чтобы горело два разных магнетрона от одного источника, то

сделать, одно кольцо внутри, другое снаружи. Кремний снаружи, потому что путь длиннее.

На титановой части максимально ослабить магнитное поле так , чтобы приблизить напряжение горения к кремнию..

Вот не помню, важно ли , чтобы холловские токи были в одну сторону или нет..

Изменено пользователем mirs

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Магнетрон распыляет за счет протекания над мишенью кругового Холловского тока. Величина тока определяется участком цепи с наименьшей проводимостью. И бублик будет, если магнитное поле одинаковое, а вот распыление - по работе выхода.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>mirs</b>,

Только в разные. Если в одну, значит, магнитная изоляция зон, последствия смотри выше.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

В конфигурации, что предлагает mirs,токи будут всегда противоположно направлены, т.к. полярность трех магнитов (внутреннего цилиндрического и двух внешних кольцевых) со стороны подложки может быть либо S-N-S, либо N-S-N... других вариантов нет

Но такая конфигурация не может быть целью, так как в учебных заведениях никто не делает магнетрон под определенный состав подложки. Подложки меняются, а магнетрон остается... Хочется, чтобы все материалы распылялись одинаково эффективно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

В конфигурации, что предлагает mirs,токи будут всегда противоположно направлены, т.к. полярность трех магнитов (внутреннего цилиндрического и двух внешних кольцевых) со стороны подложки может быть либо S-N-S, либо N-S-N... других вариантов нет

Но такая конфигурация не может быть целью, так как в учебных заведениях никто не делает магнетрон под определенный состав подложки. Подложки меняются, а магнетрон остается... Хочется, чтобы все материалы распылялись одинаково эффективно.

Совершенно не обязательно. Можно поставить однополярные центр и край и получить две зоны эрозии.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

полярность трех магнитов (внутреннего цилиндрического и двух внешних кольцевых) со стороны подложки может быть либо S-N-S, либо N-S-N... других вариантов нет

Но такая конфигурация не может быть целью, так как в учебных заведениях никто не делает магнетрон под определенный состав подложки. Подложки меняются, а магнетрон остается... Хочется, чтобы все материалы распылялись одинаково эффективно.

Из магнитов можно составлять любые пазлы, можно в одну сторону закрутить, можно в разные..Этот как приспичит автору..А в учебных целях обязательно изготавливать такие нелепые конструкции?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin,

Так магнитные линии будут замыкаться аж на другом полюсе... как-то расточительно и с точки зрения магнитов и с точки зрения пространства на мишени.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

mirs,

Да нет, такую конструкцию никто делать не будет. Задал вопрос с познавательной точки зрения, упростив модель и создав одинаковые условия для распыления обоих металлов.

А так, да, обдумываю разные варианты составных катодов, состоящих из двух кусков разных металлов.

 

и желательно с более-менее стандартной геометрией хотя бы одной из мишеней

Изменено пользователем Aleksey Vozniy

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Aleksey Vozniy,

Два рядом расположенных магнетрона и два независимых блока питания. И любые составы,какие захочешь, можно получить. Магнетроны одинаковой полярности, это важно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
Авторизация  

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.