Перейти к содержанию
Александр А.А.

Мишень РС3710 для магнетронного напыления и проблемы с нею.

Рекомендуемые сообщения

На производстве понадобились тонкоплёночные резисторы на общей подложке. Мишень выбрали из материала РС3710, ориентировались на сопротивление 1кОм/квадрат и стабильность получаемой плёнки. Установка УВН-73, U=520 В, I=1,4 А, время 4...5 мин. Перед этим, как рекомендовалось в ТУ, обработали мишень 2 часа вхолостую. После мы напылили несколько пластин. При простое мишень содержалась в камере под вакуумом. Очередная попытка напыления с треском провалилась - даже через десять минут свидетель показывал отсутствие плёнки между контактами. При осмотре был обнаружен слой маслянистой жидкости. Вопрос - откуда она взялась при температуре более 300 градусов и почему не пошёл процесс ? В конце смены камеру отключали, днём исправно работала азотная ловушка в насосе.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Александр А.А., Как стояла мишень на магнетроне? Тепло как от нее отводилось?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

могеть клапанок не вовремя открылся

раньше вроде керметами пылькали резестивно

Изменено пользователем оптон

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Забыл уточнить на всякий случай - жидкость выступила на самой мишене тонкой плёнкой, заметной лишь когда провели пальцем.

 

 

Мишень стоит в держателе на дверце камеры вертикально, напротив окошко с заслонкой, далее ротор под держатели пластин. Охлаждение - есть подводка технической воды. Завтра уточню условия у наладчиков.

 

Если бы клапан... только никто не может объяснить, как жидкость попала на мишень, миновав относительно большое расстояние. Вдобавок, напротив стояла заслонка, пока всё хранилось в установке.

 

П.С. сегодня очистили (плёнка исчезла) мишень в изопропиловом (99%) спирте, поставили сушиться. Посмотрим, что получится.

Изменено пользователем Александр А.А.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Александр А.А.</b>,

Что между мишенью и охлаждающей водой? Я понял, что пленка образовалась на мишени.

Мишень сильно пористая?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Полость внутри магнетрона (образуемая кольцом с магнитами) омывается водой, и уже через герметичную металлическую крышку охлаждает подложку мишени. Материал мишени без видимых пор - спечённый порошок с металлическим блеском.

 

Сегодня выяснилось - масла в камере из системы точно не было. Получается, что плёнка пошла из самой мишени :crazy: После отмывки и обработки снова удалось напылить. Видимо, пора трясти производителя, поскольку мы, как оказалось, не единственные, кто сталкивался с выделением мяслянистой жидкости.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Александр А.А., Это, похоже, жидкость от шлифовки мишени. Кто мишени поставлял?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Гирмет.

 

За подсказку с жидкостью для шлифовки спасибо! Загадка появления "лишнего" вещества решена. Будем следить за дальнейшим поведением мишени.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Александр А.А., Знаю обоих. Они этим грешили.Народ жаловался на такие "непонятки".

Мишень все-таки прессованная, и всякую дрянь впитывает.

Лично мне повезло, и такое не попадалось. или "на сухую" шлифовали? Надо позвонить, спросить, а то скоро заказывать.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Может подскажете, как долго будут вылезать на поверхность остатки жидкости ? Не хочется ждать отказа после полной загрузки установки.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Александр А.А.</b>,

Обычно, в старые времена, я проводил "отжиг" мишени в течении 3-4 часов на мощности на 30% выше рабочей. Если мишень при этом не "стабилизировалась" - возвращал изготовителю с соответствующим комментарием. Иногда не совсем цензурным.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Мишень все-таки прессованная, и всякую дрянь впитывает.

«Способ изготовления мишени, методом импульсного взрыва, отличается от традиционной порошковой технологии и обеспечивает высокую однородность по составу, наименьшее количество дефектов, высокую плотность материала, высокую стойкость к термоударам, растрескиванию при распылении мишени в вакууме».

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

а не могли вы зарозить мишень типа при снятии итд тк тренинг был и цикл был должна бы уже усе г - отдать

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Так писал, попадание масла из системы заметно по следам в самой камере - был опыт чистки, причём резистивные мишение оставались чистыми. А тут, постояв сутки без работы, мишень стала "инертной" - ребята даже начали выкручивать регулятор. Не пылит! Покрутили и отключили. После снятия напряжения что-то начало "гореть" по всей поверхзности самой мишени. В среде аргона... Видимо, остатки той самой жидкости при повышенной температуре начали разлагаться.

 

Сейчас всё нормально - сопротивление плёнки на ситалле после отжига соответствует.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Была такая же проблема с мишенью, решили кипячением в изопропиле.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Добрый день, необходимо напылить тонкоплёночный резисторы из сплава "кермет" К-50С (50% РС4800/ 50% стекло С44-1). Можно ли распылять высокоомную мишень "кермет" К-50С с DC магнетрона?

 

Провели эксперимент: имеется мишень К-50С d100*6мм, установка УВН-71.

Параметры процесса: вакуум рабочий 2*10^-3 мм рт.ст. (пробовали диапазон (1.5 - 9)*10^-3 мм рт.ст), напряжение до 1 кВ (БП-196), рабочий газ - аргон. Зажигается плазма, ток эмиссии не превышает 0.1 А. Распыление мишени не происходит.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>PlanetAL</b>,

Не хватает напряжения. Сопротивление замеряйте мишени - лицо/изнанка. У 196-го - падающая характеристика. Если разряд на мишени горит, - должна распыляться. Поставьте подложку перед магнетроном неподвижно, посмотрите, что за пленка растёт. Дать две фазы на первичную - получите более 2-х киловольт на выходе. Должна начать распыляться веселее ( ток будет побольше). Может сильно падать напряжение в самой мишени. Которая при плохой проводимости будет работать как балластный резистор.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin, Сопротивление мишени (лицо/изнанка)15-19кОм при испытательном напряжение 500В. Действительно распыляется, но очень медленно. После 40 мин напыления на неподвижную подложку, на поверхности подложки образовалась плёнка с поверхностным сопротивлением порядка 10МОм.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

PlanetAL, Короче, есть два выхода. ВЧ-питание магнетрона (ВЧ-генератор + устройство согласования). Или специальный высоковольтный блок питания, с напряжением 5 кВ. (на УВН-75 такие были). Есть, правда, третий путь - ионный источник применить для распыления. Дешевле, чем ВЧ и безопасней, чем высоковольтный блок питания, но ...

Где территориально находитесь? В общем, есть и то, и другое, и знаю, где заказать третье. В "личку" пишите.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin, со дня на день должны привезти биполярный источник питания, правда выходное напряжение до 650В. Посмотрим что из этого получится.

 

ev_berlin, у Вас есть опыт работы с мишенью К-50С? Производители мишени говорят, что мишень "капризная" и положительные отзывы внедрения в тех процесс неизвестны).

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

PlanetAL, А что вам даст биполярный блок питания? Или вы имеете в виду низкочастотный генератор?

У меня есть опыт работы с самыми разными материалами.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ev_berlin, до 100 кГц.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

до 100 кГц.

Ни о чём.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.