Перейти к содержанию
vu2mbc

DLC на Бериллиевую бронзу

Рекомендуемые сообщения

Уважаемые коллеги поделитесь опытом напыления алмазоподобной плёнки из газовой фазы( ионным источником) на бериллиевую бронзу, часто плохая адгезия и как снять покрытие с этого материалла.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

vu2mbc, адгезия DLC к медному основанию (бериллий можно не учитывать) очень плохая. Необходимо использовать предварительную ионную имплантацию кислорода и азота. Снимать покрытие в кислородной плазме.

Изменено пользователем neon

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

есть же тема про DLC http://www.chipmaker.ru/topic/57779/ за чем новую открывать ? И так уже форум превращается в "помойку".

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>vu2mbc</b>,

Предварительная очистка есть? Как и чем?

Что за источник?

Подслои, создающие прочные карбиды - титан, цирконий, тантал и т.п.

Снимать- в водородной плазме. Сам снимал микрон за 5 минут.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Подслои, создающие прочные карбиды - титан, цирконий, тантал и т.п.

тоже сперва написал про подслои, но вспомнил про предварительную ионную имплантацию, которая позволяет значительно увеличить адгезию DLC к меди (в конкретном эксперименте разница почти в 150 раз).

Изменено пользователем neon

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>neon</b>,

Дай ссылку. Если энергия имплантации большая, то дело не в сорте ионов, а в модификации слоя.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

15 кэВ. Отправил статью в ЛС.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ионная очистка проводиться ионником( типа Радикал- протяженный- Беларусская машина УВН-700) с аргоном (2.0 кВ), подслой Титан, затем АПП напыляется.

Проблема у бронзы что еёё нельзя нагревать свыше 400 гр. уходит твёрдость за час на 15-20 по Роквелу. Исходная твёрдость у неё 40 ед.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>vu2mbc</b>,

Видимо, на что-то очень тонкостенное наносите, раз перегрев от ионника. Напряжение не пробовали снижать? Скорость не должна сильно упасть, а нагрев уменьшится пропорционально. При нанесении до киловольта.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Я допустил ошибку про нагрев, это косается удаления старго покрытия, ионником если стриповать аргоном очень долго и не эффективно получается. Хочу попробовать водородом, не будет проблем, с диффузионным маслом и маслом в механических насосас-? С водородом не работал.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

vu2mbc,

Стриппинг DLC ионным источником, напряжение 100 Вольт лучше модулированное, обычным воздухом в конце зачистка аргончиком и никакого водорода. Не перегреется и не растравится.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>vu2mbc</b>,

Можно даже на чистом кислороде снимать, с маслом на таких расходах ничего не случается, ручаюсь ( много лет чистил загрузки в диффузионных установках такими источниками на кислороде). На водороде тем более ничего не будет, но там и аргон в конце не понадобится.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

"""Стриппинг DLC ионным источником, напряжение 100 Вольт лучше модулированное, обычным воздухом в конце зачистка аргончиком и никакого водорода. Не перегреется и не растравится.Спасибо за совет, какова продолжительность стрипинга в этом случае и какое напряжение на ионнике должно быть в этом случае оптимальное. В случае более высокого напряжения на столе от 100 до 800 вольт- ( 20 кГц) это ускорит процесс стрипинга-?

Евгений спасибо ВАм тоже за совет буду пробовать.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>vu2mbc</b>,

Вторичная плазма ионного источника позволяет зажигать на изделии несамостоятельный разряд, который, вообще говоря, может быть довольно "плотным". На 800 В перегреешь, однозначно. А при снятии в активных газах ( кислород, водород) значение имеет не энергия ионов, а плотность ионного тока. А она при 100 В уже в насыщении...

Зачем лишний нагрев?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

При каких давления водорода в камере можно работать ионным источником из практики

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ещё очень важный вопрос температура процесса при напылении АПП, какая оптимальная должна быть

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>vu2mbc</b>,

Расход газа по току регулировать, давление - какое получится. Эти ИИ - машинка "расходная", у них ток от расхода зависит ( во всяком случае, у моих).

Температура осаждения алмазоподобных - чем ниже, тем лучше. Ничего не надо специально греть.

Сам сажал ( когда с пластинами работал) на охлаждаемом подложкодержателе.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Как я понял при напылении и стрипинге напряжение на столе 100 вольт(20кГц), напряжение на ионнике 1000 кВольт, температура комнатная-, давление у меня примерно 2-3х10-2 Ра. ток при этом не боле 0.2 Ампера получается, дальше у меня захлёбывается по току перегрузка горит если поднять давление в камере.

Евгений ещё раз спасибо буду пробовать, сообщу результат.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

vu2mbcПри каких давления водорода в камере можно работать ионным источником из практики

 

 

При стриппинге я работаю где-то в районе 0.15 Па на воздухе, но в некоторых конструкциях ионного источника и при подаче газа через ионник, давление может быть ниже, поэтому работать нужно на давлении пока разряд не сваливается и брать с запасом - 15% . От несамостоятельного разряда на карусели лучше отказатся, если деталь деликатная. На ионнике 2000-3000 вольт.

На изделии не больше 100, нужно химически снимать пленку, а не фрезеровать ее.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

vu2mbc

ещё очень важный вопрос температура процесса при напылении АПП, какая оптимальная должна быть

 

Об этом много написано в свое время. Если дуговым методом, то чем холодней подложка, тем тверже покрытие. Считается, что после 150 градусов идет сильная графитизация, но некоторые исхитряются получать и при нагретых до 180 - 190 градусах изделиях вполне твердые покрытия дугой, сюда же входит и импульсная дуга.

Если из газовой фазы, то обычно работают в районе 180 - 220 градусов. Из магнетрона (PVD как никак) опять, чем ниже температура подложки тем лучше для твердости.

Но я уже как-то писал, что твердость и износостойкость не одно и то же, а как правило требуется износостойкость, поэтому в каждом случае своя правда.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Сегодня пробую водородом травить- жду результат, завтра буду воздухом пробовать.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>vu2mbc</b>,

Если со смещением, то травление на глазах должно идти, если оно вообще идет. Скорость травления в водороде, по моему опыту, лишь вдвое меньше травления в чистом кислороде, только без окислительного эффекта на поверхности.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

После 6 часов травления ионником на водороде при вращении деталей:

На меди частичное травление порядка 30-40%, травление не однородное.

На стали тоже порядка 30-40% травление не однородное.

В целом результат есть нужно более длительно травить, поверхность детали не повреждена травлением, поверность без окисления, процесс очень нежный.

Что косается стали есть опасения наводораживании поверхости, что может привести к охрупчиванию, но ещё не тестировал, что со стальной деталью получилось.

На мой взгляд, чтобы стравить 1 микрон нужно часов 20 травить. Евгений ещё раз спасибо за совет. Воздухом буду травить на следующей недели.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>vu2mbc</b>,

Ионник у тебя какой-то "нежный". Какой у него ток? При каком размере? И ток на деталях какой получается?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

ТОк ионника 0.2 Ампера, ток на деталях 0.4 Ампера это при травлении, при напылении параметры теже получаются

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.