Перейти к содержанию
ev_berlin

Тантал дуговым методом

Рекомендуемые сообщения

Форумчане!

Кто пылил тантал дугой? Что за зверь получается?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

сразу в тему мона типа на молибденчик( тока окисляеться сильно он попробовать потома типа лодочки из них воять

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Мы пылили. Толстые покрытия ( эксперименты по тех.заданию). Примерно так же как ниобий или молибден пылится, только сам катод гораздо дороже.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Дугатрон</b>,

Интересуют как раз толстые. А как там с капельной фазой?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

Примерно так же как ниобий или молибден пылится

 

Только напряжение на подложке(если пылить на желесяку) 10-15 В.Ток дуги-150А.

 

Бо тяжелый слишком и летит со скоростью 22км/сек... :)

 

 

Теплопроводность Тантала-(300 K) 57,5 Вт/(м·К)-так что теоретически- количество капель больше чем у хрома,но меньше чем у титана.И это притом.что количество капель у хрома и титана(при одном и том же токе дуги различаются на порядок.

вот еще нарыл про ионную составляющую post-66974-075366100 1391264716_thumb.jpg

Изменено пользователем dr.Vakuum

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>dr.Vakuum</b>,

Доктор, спасибо за информацию. Зарядовость у него недетская в дуге, понятно, почему смещение надо пониже делать. 4-х зарядный ион при напряжении смещения 50 В распылять будет будь здоров!

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

до 50 микрон пылили . Доктор верно написал.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Дугатрон</b>,

И как это выглядело, покрытие в 50 мкм? Сильно шершавое?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Думаю шо основное шоб подложка на проглядывала електрически

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Да нет, не особо шершавое. Матовое .

Образцы , стальные полоски 100х8х 4мм выгибало заметно. С одной стороны пылили.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Насчет-"выгибало"

 

Пылили покрытие Тиален одному форумчанину(кандидатская) на нержу 15х15х1. толщина 7мкм.

Образцы выгибало -не по "децки".

 

Присутствовало напряжение растяжения-образцы загибало в сторону "тени"-принимало форму "зонтика"

И это при том,что температура образца была около 550град

Не отжиг конечно,но все же..

.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Дугатрон</b>,

Значит, капли мелкие и их немного. А какая цель была этих напылений, если не секрет? Уж очень толщина большая. Необычно.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

напряжение растяжения-образцы загибало в сторону "тени"-принимало форму "зонтика"

Зонтик (выпуклость к испарителю) - а не напряжение сжатия?

Кто кого в Вашем случае гнул - покрытие подложку или подложка покрытие?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Евгений извини, но это секрет ( не наш) , просили не распространятся.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>Дугатрон</b>,

Да ладно, это праздное любопытство. То, что пылится, и нормально выглядит - уже достаточно. Как скорость напыления, с чем можно сравнить?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Титан , конечно быстрее пылится ))))

с тугоплавкими - ниобий, молибден , хром. Хром - лучше всего дуга горит, стабильнее . .

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

вопрос ещё в том, есть ли необходимость в альфа-фазе танталового покрытия. Я в основном смотрел работы по магнетронному распылению тантала.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А при 750 Град бета -фаза все становится альфа-фазой.

 

Из Википедии :unknw: (простите темного)

 

Металічний тантал складається із двох кристалічних фаз: альфа та бета. Альфа-фаза більш ковка та м'яка; вона має об'ємоцентровану кубічну ґратку (типу Im3m, константа ґратки a = 0,33058 nm), Показник твердості за Кнупом 200—400 HN та питомий електричний опір 15-60 µΩּcm. Бета-фаза крихка та тверда; її кристалічна симетрія тетрагональна (тип P42/mnm, a = 1,0194 нм, c = 0,5313 нм), твердість за Кнупом 1000—1300 HN та питомий опір 170—210 µΩּcm. Бета-фаза є метастабільною та переходить у альфа-фазу при нагріванні 750—775 °C. Основна маса танталу знаходиться у альфа-фазі, та бета-фаза звичайно отримується шляхом магнетронного напилення, хімічного нанесення абоелектролізу з евтектичного сольового розплаву.[14]

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Матеичь дикцию потерял :spiteful:

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

dr.Vakuum, не всегда можно нагревать изделия до такой температуры. Интерес представляет как раз формирование альфа-фазы при пониженной температуре. Смотрю даже Евгений удивился толщине 7 мкм. В статье плёнки были до 20 мкм.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>neon</b>,

Управление фазами можно осуществлять ионной бомбардировкой. Часто и успешно заменяет температуру.

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Бета-фаза є метастабільною та переходить у альфа-фазу при нагріванні 750—775 °C.

Основна маса танталу знаходиться у альфа-фазі, та бета-фаза звичайно отримується шляхом

Всегда считал, что шлях это дорога, на которой бандиты "шляхтичи".

Если у меня тантал хрупкий и твердый, то я могу его в печку на 800, и он опять станет мягкий?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

<b>mirs</b>,

Не забудь нейтральным газом заполнить, а то окислится сильно. И непластичным он может быть из-за примесей. А их не отожжешь.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Управление фазами можно осуществлять ионной бомбардировкой. Часто и успешно заменяет температуру.

Из моего учебника по КИБ

"Во-первых,непрерывная ионная бомбардировка очищает поверхность конденсации. Во-вторых,под осевшими атомами возникает "область"теплового клина" с температурой выше средней температуры поверхности на несколько сотен градусов.Кроме такой термической активизации возможны другие активационные процессы.....однако механизмы адсорбации,миграции,образования и роста зародышей не должны принципиально отличаться от других видов вакуумного напыления" В.А.Барвинок 1990 год

:)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Дата: (изменено)

ev_berlin, что характерно, при пониженной температуре альфа-фаза в основном формируется начиная только с определённой толщины покрытия. После некоторого порога возникает переходной слой (альфа + бета) и дальше формируется чистая альфа-фаза. Я читал это в статье, посвящённой импульсному магнетронному напылению тантала. Температура там была немногим больше 500 °C.

Изменено пользователем neon

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти

  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу


×
×
  • Создать...

Важная информация

Мы разместили cookie-файлы на ваше устройство, чтобы помочь сделать этот сайт лучше. Вы можете изменить свои настройки cookie-файлов, или продолжить без изменения настроек.